日本 KATO KOKEN 半导体无尘车间尘源检测仪

日本 KATO KOKEN 半导体无尘车间尘源检测仪 日本 KATO KOKEN 半导体无尘车间尘源检测仪

1. 产品概述

Apex AP-GR 是加藤兴研 Apex 系列旗舰型微粒可视化成套系统，搭载 520nm 绿色半导体连续激光 + 500 万像素高灵敏度高速相机，配套专用 Apex 图像处理软件，可清晰捕捉 0.3μm 级微小悬浮粒子；整套设备实现粒子成像、轨迹追踪、实时计数、数据导出一体化，用于半导体、医药、光伏等高等级洁净室异物管控、尘源排查与产线工程改善。

2. 全套硬件规格参数

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模块详细技术指标

激光光源520nm 绿色半导体激光器，连续光；功率可选 1W/2W/6W 光纤款 / 10W

照射形态片状光（席位光）

可观测粒子常规 1μm 以上，具备 0.3μm 超微粒子可视化能力

成像相机500 万像素高灵敏度工业相机，USB3.0 高速接口，75 帧 / 秒，支架

配套软件 Apex 功能轨迹显示、3 档灵敏度切换、ROI 区域设置、静态差分滤波、浮雕效果、累积亮度成像；实时粒子计数、图表生成、CSV 数据导出

3. Apex 全系列型号横向对比

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型号光源类型最小观测粒子适用场景定位

AP-GR520nm 绿色激光0.3μm高精度微小粒子观测，1~1 级高洁净车间污染评估

AP-Yellow黄光 LED 光源1μm降低激光安全管控压力，常规尘源溯源改善

AP-LR红色 LED 光源5μm简易粉尘初筛，明亮环境快速排查

四、五大核心产品优势

1. 可观测 0.3μm 超微颗粒，适配半导体顶级洁净车间

绿色激光亮度高、散射成像对比度强，可捕捉晶圆制造关键管控的 0.3μm 级微粒，满足无尘产线异物管控标准。

2. 一体化成套方案，成像 + 计数 + 分析一站式完成

激光光源、高速高灵敏相机、专业分析软件成套交付，无需额外搭配配件，开机即可完成粒子拍摄、轨迹记录、量化计数与报表输出。

3. 75fps 高速帧率，完整捕捉粒子动态漂浮轨迹

高帧率相机无拖影记录微粒运动路径，精准定位人员、设备、输送风道等各类尘源。

4. 完整数据导出功能，改善报告可视化举证

软件自动生成粒子统计图表，支持 CSV 格式导出，可结合实拍影像形成标准化改善报告，用于内部评审与工艺整改佐证。

5. 多功率激光可选，适配不同观测距离与腔体空间

1W~10W 多档位连续激光可选，光纤款适配狭小设备内部、风道深处等复杂工位布光。

五、核心使用场景与适配行业

五大标准应用场景

尘源定位确认：异物不良现场追溯粉尘来源，排查人员、设备、输送、气流四大污染源；

改善前后对比验证：清扫、工艺调整、设备改造前后粒子状态量化对比，直观验证改善效果；

洁净室等级环境评估：长期可视化监测车间悬浮微粒分布，用于洁净度分级与环境优化；

产线工程改善：观测设备内部粒子流动规律，作为良率提升、异物不良对策的依据；

内部报告举证：影像 + 粒子计数数据结合，形成可视化报告，推动产线整改落地。

适配行业

半导体晶圆 / 面板制造、光伏电池车间、医药无菌车间、精密医疗器械、汽车无尘涂装车间、食品无菌灌装产线。