日本 Takano 高野 线扫相机显示面板检测仪

日本 Takano 高野 线扫相机显示面板检测仪 日本 Takano 高野 线扫相机显示面板检测仪

1. 产品概述

本设备是 Takano 面向高世代显示产线推出的高精度显示基板全幅视觉检测设备，适配 LCD、OLED、触控屏各类精细图案基板；搭载自研高分辨率线阵扫描相机、5~50 倍可调自动追踪对焦光学镜头，搭配原创 GFC 缺陷识别算法，稳定检出 3μm 级微小图案、异物、针孔、低对比度污渍缺陷，已落地 G10.5 高世代产线，兼顾卷式 / 单片基板高速量产全检。

2. 硬件整机规格参数

表格

硬件项目规格指标

最高成像分解能3μm / 像素

自研线扫相机规格16000 像素 (560MHz) / 7400 像素 (266MHz) 双型号可选

照明系统高亮 LED 照明 + 工艺定制光学滤光片

输送搭载方案自由滚筒 / 气浮滑块 / 线性电机机架三种可选

光学评价单元5.0~50 倍可调显微镜、高速自动对焦追踪模组

最小稳定检出缺陷3μm 以上各类细微瑕疵

单片检测节拍30 秒 / 张（5μm 检测精度工况）

3. 可检出全品类缺陷清单

图案类缺陷：线路断线、短路、图案形变、缺角、布线偏移

异物颗粒缺陷：表面粉尘、金属碎屑、外来凸起杂质

孔洞缺陷：涂层针孔、蚀刻漏孔、薄膜破洞

低对比度缺陷：表面污渍、弱色差膜层不均（选配污渍检测功能）

4. 三大核心产品特长

01 原创 GFC 缺陷识别算法

图像处理算法，精准捕捉 3μm 超细微缺陷，区分基板固有纹理与真实不良，大幅降低误检率，适配显示面板复杂细微线路图案。

02 高速稳定一体化光学成像系统

自研高帧率线扫相机 + 高精度专用检测镜头，搭配动态自动对焦追踪单元，高速走板过程持续清晰成像，保障量产长时间稳定检测。

03 高世代产线成熟落地实绩

具备 G10.5 大尺寸显示基板产线批量应用案例，适配大尺寸 LCD/OLED/Touch 基板量产质检场景。

5. 选配拓展功能

污渍检测功能：识别低对比度污渍、弱色差类难检出缺陷

高速图像传输模块：检测同步实时上传缺陷坐标、原图、尺寸数据，对接产线 MES 系统

6. 适配检测基材与下游客户

检测基板品类

LCD 液晶面板（彩色滤光片、TFT 薄膜晶体管基板）、OLED 有机 EL 显示屏、电容式 / 电阻式触摸屏基板

下游客户群体

G6/G8.5/G10.5 代液晶面板工厂、OLED 柔性屏制造企业、触控面板基板厂商、显示材料研发实验室