日本 HORIBA 半导体数字式液体质量流量计

日本 HORIBA 半导体数字式液体质量流量计 日本 HORIBA 半导体数字式液体质量流量计

1. 产品概述

XF-100 系列为 HORIBA 推出数字式液体质量流量计，包含 XF-102、XF-104 子型号，主打高速动态流量监测。

产品依托差压传感测量方案，区别于传统热式液体流量计，响应速度大幅提升，适合流量频繁波动的微量药液输送场景；设备本身仅具备流量测量功能，可外接压电调节阀组建完整流量控制系统，适配各类半导体薄膜沉积、精密湿法制程。

2. 工作原理

传感器采集流道两端压差信号，结合流体特性换算得到液体质量流量；无加热元件，避免热敏液体受热变质、汽化起泡问题，可稳定监测易挥发、热敏化学原料。

3. 核心功能亮点

✅ 差压式高速响应测量

原生响应 100ms；配套压电阀组成控制系统，整体调节响应＜0.8s，适合动态工艺。

✅ 优异测量精度

测量精度 ±0.8% 满量程，保障微量液体配比重复性。

✅ 超洁净本体设计

内部流道抛光处理，降低微粒产生，匹配半导体高纯化学品输送标准。

✅ 无热源测量结构

不存在元件加热，规避低沸点液体沸腾、前驱体热分解风险。

✅ 标准化 VCR 高纯接口

1/8"、1/4" VCR 接头可选，便于集成到现有高纯流体管路。

✅ 紧凑小型化机身

XF-102/104 外形尺寸统一，节省设备端安装空间。

4. 型号区分

XF-102 Series：对应 1/8 VCR 接口配置

XF-104 Series：对应 1/4 VCR 接口配置

5. 典型应用场景

ALD、CVD 设备液态前驱体供给流量监测

半导体湿法清洗、显影、蚀刻微量药液输送

化合物半导体、功率器件化学品定量输送

优良封装、光伏薄膜工艺液体源流量监控