日本 ONOSOKKI 小野 电容式非接触厚度仪

日本 ONOSOKKI 小野 电容式非接触厚度仪 日本 ONOSOKKI 小野 电容式非接触厚度仪

1. 产品概述

CL-5610 系列是小野测器推出电容式非接触厚度测量主机，搭配 VE 系列电容间隙传感器使用。

设备分为两款机型：

CL-5610：放大器内置，传感器线缆长度固定 1.5m，适合实验室桌面离线检测；

CL-5610S：放大器独立外置，主机与放大器标准线缆 2.5m，最长可拓展至 10m，便于自动化设备内嵌集成。

整机支持双路传感器接入，既可对置测厚度，也可单独作为双通道间隙监测仪使用。

2. 测量原理

✅ 导体 / 半导体测量：上下两只电容传感器对向布置，分别采集传感器与样品上下表面间隙，通过传感器基准间距差值运算得出厚度；

✅ 绝缘体测量（选配 CL-0300）：单传感器搭配金属基准底板，依托材料介电常数完成薄膜、薄片厚度求解。

3. 核心功能亮点

✅ 多材质兼容测量

标准可测导体、半导体；加装 CL-0300 选件可测量塑料薄膜、玻璃、树脂等绝缘体。

✅ 高阻抗接地模式（CL-0210 选配）

针对氟涂层台面、难以大面积接地的样品，缩小接地接触面积，依然保证测量稳定。

✅ 高分辨率演算功能（CL-0200 选配）

标准精度 ±0.15% FS；开启选件可达 ±0.12% FS；最小显示分辨率低至 0.02μm。

✅ 双通道架构，用途灵活

2 路传感器输入，支持厚度测量、单点间隙、差值 A-B、最大 / 最小值、波动区间 RANGE 运算。

✅ 丰富对外通讯与输出

标配 RS-232，支持远程控制、数据采集；可选 6 位并行 BCD 输出，对接 PLC、数据记录仪。

✅ 多组参数记忆

主机可存储最多 6 组传感器校准参数，现场快速切换不同量程 VE 传感器。

✅ 断电参数保存

全部设定参数内置存储，关机后配置不丢失。

4. 关键电气规格

标准精度：±0.15 % F.S；加装 CL-0200：±0.12 % F.S（VE-8020/8021 除外）

精度保证温区：23℃±2℃

采样周期：20ms

移动平均：1～64 阶可调

远程功能：外部触发开始 / 停止测量、厚度校准

显示：荧光数码管，可切换单项目 / 双项目显示

5. 机型差异对比

表格

项目CL-5610CL-5610S

放大器结构主机内置放大器独立外置放大器单元

传感器→放大器线缆固定 1.5m，不可延长1.5m（传感器至外置放大器）

放大器→主机线缆无标准 2.5m，最长可选 10m

适用场景实验室台式离线检测自动化设备集成、产线在线检测

6. 适配 VE 传感器分辨率参考

表格

传感器型号测量量程标准分解能CL-0200 高分辨率模式

VE-201120～200μm0.1μm0.02μm

VE-501050～500μm0.1μm0.05μm

VE-501120～200μm0.1μm0.02μm

7. 典型应用场景

半导体硅片、碳化硅薄片厚度无损抽检

光学玻璃、超薄树脂薄膜、PET 基材厚度检测

锂电池铜铝箔、导电薄片非接触测厚

精密导电垫片、镀层基材离线厚度测试

自动化产线薄片在线厚度监控