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产品分类
日本 HORIBA 半导体压力质量流量控制器HORIBA STEC D700MG（D717MG）属于 CRITERION 系列压力非敏感型 MFC，D500MG 向上兼容机型，搭载压电阀，最快 100ms 调节响应；支持 EtherCAT 总线在线更改气体与满量程，配备 PFA 喷嘴、MRMG 小流量功能，内置状态监测，面向刻蚀、薄膜沉积等优良半导体制程。
产品型号：D700MG厂商性质：经销商更新时间：2026-07-16访 问 量：12
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日本 HORIBA 半导体压力质量流量控制器 日本 HORIBA 半导体压力质量流量控制器
1. 产品概述
D700MG（代表型号 D717MG）是 HORIBA STEC 面向优良半导体工艺推出的压力非敏感型数字质量流量控制器，为 D500MG 升级兼容产品，归属 CRITERION 平台。
采用基于压力测量控制架构，不受上下游压力波动干扰；原生支持 EtherCAT 工业以太网，支持设备端在线灵活配置参数，广泛应用晶圆刻蚀、ALD/CVD、薄膜沉积、离子注入等工艺气体精准输送。
2. 核心优势特点
✅ EtherCAT 在线灵活组态
支持机台端直接更改气体种类、全量程参数，无需返厂标定，极大方便工艺研发与多产品共线生产，提升制程优化灵活性。
✅ 极速动态响应
建立时间≤100ms，实现多台 MFC 之间流量偏差精准抑制，提升工艺均匀性与产能。
✅ MRMG 小流量增强功能（Bin101~Bin105）
拓宽下限可控区间，兼顾高低流量工艺需求，一台设备适配更多制程窗口。
✅ PFA 材质喷嘴
优异阀门截止性能，耐腐蚀性更强；降低微粒产生风险，减少腔体污染、意外停机，提升晶圆良率。
✅ 内置完整状态监控系统
持续采集阀参数、压力、温度等运行数据，支撑远程诊断、预测性维护，推进智能 fab 运维。
3. 关键性能规格（D717MG）
流量量程档位：
① 10 SCCM～10 SLM
② 5 SCCM～5 SLM
③ 5 SCCM～1 SLM
控制区间：0.2~100% F.S/ 0.5~100% F.S/ 2~100% F.S（依量程区分）
阀结构：常闭型压电执行器
建立时间：≤100ms
精度（25℃）：±1% SP / ±0.05~0.5% FS（分段）
重复精度：±0.3% SP
泄漏指标：＜0.02~0.1% F.S 或 0.015SCCM (N₂)，取较大值
润湿材质：SUS316L、镍合金、PFA
检漏标准：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s (He)
工作温度：15～45℃
4. 型号定位说明
D700MG 是 D500MG引脚 / 安装尺寸向上兼容换代产品，客户现有设备可实现低成本替换升级，无需大幅修改机械与控制程序。
5. 典型应用场景
逻辑、存储芯片干法刻蚀工艺
ALD、CVD、PVD 薄膜沉积制程
化合物半导体、碳化硅器件制造
离子注入、清洗、退火设备工艺气配比
优良面板、光学薄膜气相工艺
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