日本 Santec 超高灵敏度光学三维干涉测量仪

日本 Santec 超高灵敏度光学三维干涉测量仪 日本 Santec 超高灵敏度光学三维干涉测量仪

1. 产品概述

OPS-1000 是日本 Santec 自研的干涉式光学三维三次元测量系统，依托企业深耕光通信的波长可调激光核心技术，突破传统白光干涉、激光共聚焦设备灵敏度瓶颈，最小受光灵敏度 100dB，动态范围 70dB，弱反光、深色、复合材质工件均可稳定成像。

整机一体化台式结构，搭载自动 XY 扫描平台，配套专业三维重建软件；采用同轴测量光路，无需调整多角度光源，复杂型腔、深孔、异形曲面一次扫描完成三维建模；支持离线实验室抽检与产线在线全自动全数检测，广泛用于精密机械、汽车动力、半导体封装、复合材料加工、刀具模具行业。

2. 核心硬件性能参数

核心光学指标

测量原理：高速波长可变激光干涉法

最小受光灵敏度：100dB，相较传统设备提升 100 倍

动态范围：70dB

扫描采集速度：最高 100,000 点 / 秒

光路形式：同轴共光路测量

适配工件：金属、树脂、陶瓷、复合材料、镜面 / 哑光 / 深色多材质兼容

整机结构

一体化台式机，集成激光光学头、电动 XY 平台、控制单元

配套工业显示器，实时显示 3D 彩色形貌云图

软件输出三维轮廓、高度剖面、平面度、粗糙度、缺陷波形数据

3. 三大核心产品特征

① 超高灵敏度，难测材质稳定成像

最小受光灵敏度 100dB，动态范围 70dB；哑光金属、深色塑料、低反射复合材料、细微刀具刃口均可清晰捕捉三维轮廓，不会因反光差、色差出现数据丢失。

应用示例：立铣刀刀具刃口形貌、微小金属断口波形检测。

② 十万点每秒高速扫描，量产全检高效

每秒最高 10 万测点，大幅缩短单件扫描时长，支持流水线连续自动测量，实现制造工序全数品质管控，替代人工抽检，消除人为误差。

应用示例：小型微型变速箱内部零件尺寸、曲面批量检测。

③ 同轴光路，复杂异形工件无障碍测量

同轴光学设计，光线垂直工件表面入射，深型腔、阶梯结构、发动机缸体多孔复杂曲面无需多角度调整，一次扫描完整采集全域三维数据，生成彩色高度云图直观识别凹凸缺陷。

应用示例：汽车发动机缸体平面度、孔位高度差检测。

4. 全行业应用场景

精密刀具与模具加工

铣刀、钻头、成型模具刃口三维形貌、圆弧、磨损量检测；

汽车动力零部件制造

变速箱壳体、发动机缸体、金属管件断裂缺陷波形解析，追溯不良产生根源；

半导体封装行业

蝴蝶型封装引脚高度差、微小凸台位移精准在线高度测量；

复合材料消费电子件

电脑散热风扇、复合塑料外壳，不受多材质、表面色差干扰，完整轮廓测量；

通用精密制造质检

微小金属零件、光学元件、微型传动件全域三维尺寸、平面度、翘曲度检测。