日本 Santec 宽带多边形扫描 SS-OCT 光源

日本 Santec 宽带多边形扫描 SS-OCT 光源 日本 Santec 宽带多边形扫描 SS-OCT 光源

1. 产品概述

HSL-2100 是 Santec HSL 系列主打工业量产市场的经济型 SS-OCT 扫频光源，区别于 HSL-10/HSL-20 的 MEMS 方案，采用多边形旋转扫描振镜设计，具备波长扫描线性度与长期重复稳定性。

核心优势为无 K 触发采样，普通商用数据采集卡可直接配套，省去同步触发电路，大幅降低整套 OCT 检测设备研发与物料成本；1310nm 红外波段兼顾穿透性与成像分辨率，双扫描带宽规格适配不同精度需求，整机支持标准台式交付与 OEM 小型模组封装，是半导体、精密制造流水线批量检测光源。

2. 核心硬件规格参数

光学核心指标

中心波长：1310 nm

最大输出光功率：＞20 mW

扫描速度：20 kHz

扫描带宽：≥110 nm / ≥170 nm 双版本可选

实际相干长度：≥6 mm

扫描特性：高线性波长扫描、高重复稳定性

系统配套优势

无需 K - 触发器，兼容通用数据采集卡

单向稳定扫描，光谱无回程畸变

简化系统电路，整机 BOM 成本更低

交付形态

标准台式一体化机箱

支持 OEM 模块化封装定制，适配产线设备嵌入

3. 四大核心产品优势

① 多边形扫描架构，工业级长期稳定

旋转多边形振镜扫描，抗震动、耐高温，适合工厂 24 小时不间断在线检测，波长扫描重复性、线性度优于传统 MEMS 光栅方案。

② 免 K 触发设计，大幅简化系统

出厂波长线性均匀，数据采集无需额外 K 同步触发器，直接搭配通用采集卡，减少电路板开发、缩短整机调试周期，显著降低设备制造成本。

③ 双宽带可选，兼顾精度与景深

110nm 标准版满足常规厚度测量；170nm 超宽带版本提升轴向分辨率，用于晶圆微小形貌、多层薄膜高精度分层检测。

④ 高性价比量产方案

相较 HSL-10/HSL-20 高速医疗款，20kHz 低速架构成本优势明显，匹配工业大批量质检场景，平衡检测效率与设备投入。

4. 核心应用场景

半导体晶圆检测

硅片厚度、表面翘曲、薄膜分层形貌、微小缺陷断层测量；

工业高精度在线全检

复合材料、多层涂层、塑料板材、金属零部件厚度与内部缺陷流水线筛查；

低成本科研 SS-OCT 平台

高校实验室基础断层成像、散射介质光学检测教学设备搭建；

高分辨率无损形貌成像

各类透明 / 半透明工件内部结构、表面轮廓非接触扫描。