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日本 CSC-BIZ RACCAR 洁净室粗大粒子计数器

日本 CSC-BIZ RACCAR 洁净室粗大粒子计数器日本 CSC-BIZ RACCAR(CS-RA004)粗大粒子计数器,专为洁净环境落尘异物检测设计,可测 30μm 颗粒,5 档粒径分级识别,单次测量约 7 秒。可采集晶圆表面落尘图像与计数数据,解决传统粒子计数器无法关联产品不良痛点,广泛用于半导体洁净车间落尘调查、洁净用品除尘效果验证。

  • 产品型号:CS-RA004
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-08-13
  • 访  问  量:15
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详细介绍

日本 CSC-BIZ RACCAR 洁净室粗大粒子计数器 日本 CSC-BIZ RACCAR 洁净室粗大粒子计数器

1、产品性能

RACCAR CS-RA004 粗大粒子计数器针对洁净车间粗大掉落异物检测,区别于常规空气粒子计数器,可直接统计晶圆采样板表面沉降颗粒物。设备一键启动分析,平均 7 秒完成检测;通过彩色区分不同粒径颗粒,直观展示异物分布;支持图像与检测数据本地存储,方便追溯对比。可搭配耐高温晶圆采样板,支持干燥炉等高温特殊工况环境测试。

2、参数表

表格

项目参数

产品型号CS-RA004(RACCAR)

最小可测粒径30μm

粒径分级档位≥30μm、≥50μm、≥100μm、≥150μm、≥200μm(5 级分级)

单次测量时长约 7 秒

数据保存格式图像:jpg/bmp/tiff/png;统计结果:csv

采样载体硅晶圆采样板(晶圆耐温最高 1400℃)

3、型号说明

整机型号:CS-RA004,商品名称 RACCAR;由日本 CSC-BIZ 原厂研发,整套包含测量主机、配套分析软件,搭配笔记本电脑运行,无衍生子型号。

4、产品用途

洁净室环境落尘(落下异物)调查;

无尘服、无尘布等洁净用品附着尘量印章测试;

除尘设备、清洁耗材的除尘效果验证;

高温工艺(干燥炉)等特殊生产环境颗粒物污染调查;

定位产线异物污染源,分析造成产品异物不良的粗大颗粒。

5、适用行业

半导体晶圆制造、光学元器件生产、精密电子组装、显示面板、新能源材料、精密零部件洁净加工等对表面异物管控严格的洁净制造行业。



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