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日本 Excel Precision 激光干涉仪激光光源Excel Precision 1001D 双频氦氖激光头，依托塞曼效应实现高稳定双频输出，最高测量速度可达 1.0m/s。兼容全系 Excel 光学配件，最多支持 6 轴干涉测量。具备优异频率与指向稳定性，适配半导体、超精密机床等场景，作为激光干涉仪核心光源，提供高精度、高重复性位移测量。
产品型号：1001D厂商性质：经销商更新时间：2026-09-18访 问 量：4
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日本 Excel Precision 激光干涉仪激光光源 日本 Excel Precision 激光干涉仪激光光源
1001D 属于塞曼效应双频氦氖激光系统，利用纵向磁场分裂氖原子能级产生双频激光，频率稳定性 2×10⁻⁸，预热完成后指向稳定性＜0.1×10⁻³ 弧度。差分方波信号输出，最高测量速度 1.0m/s，可支持 6 轴同步干涉测量，适配高精度位移检测，测量重复性好。激光输出功率 0.2~1mW，标准光束直径 6mm，可选 3mm/9mm 光束。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | 1001D |
| 真空波长 | 632.99137 nm |
| 拆分频率 | 3.4~4.0 MHz |
| 频率稳定性 | 2×10⁻⁸（标称） |
| 指向稳定性 | 预热后小于 0.1×10⁻³ 弧度 |
| 光束直径 | 6mm（3mm、9mm 可选） |
| 激光输出功率 | ＞0.2mW，＜1mW |
| 供电 | 15V DC，启动 2.5A，工作 1.1A |
| 外形尺寸 | 35×13×11.5 cm |
| 最大测量速度 | 1.0 m/s |
| 信号输出 | 差分方波 |
Excel 1001 系列包含 1001A/1001B/1001C/1001D/1001F、1101A。1001A/1001C/1001D/1001F 外形尺寸一致；1001D 为该系列测速最高型号，最大速度 1.0m/s；1001C 最高 0.8m/s，其余型号 0.6m/s。可按需定制机械变型。
作为激光干涉仪核心光源，应用于晶圆 / FPD 步进机、电子束设备、IC 检测设备、后端步进机、超精密机床、各类精密位移测量设备，半导体光刻、精密加工、高精度定位检测领域。
供电：接入 15V 直流电源，上电预热，等待激光 READY 指示灯稳定，完成预热保证指向稳定。
光路：安装固定激光头，搭配 Excel 干涉光学组件，校准光束光路。
信号：参考信号、激光输出信号接入干涉仪接收系统，最多扩展 6 轴测量。
安全：设备发射激光辐射，禁止直视出光口；设备符合 21CFR 激光安全规范。
维护：可选带排气孔版本，注意散热；禁止拆解激光腔体。
半导体制造、精密光学检测、超精密数控机床、FPD 平板显示、计量检测实验室。
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