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日本 JSE 500W 等离子体用射频高频电源JSE RF-500 是日本 JSE 技研研发的等离子体专用高频电源，输出频率 13.56MHz，额定功率 500W。内置水晶振荡器，功率输出稳定，采用强制风冷小型化结构，搭载多重保护回路。支持本地 / 远程控制，适用于等离子清洗、刻蚀等工艺，广泛用于半导体与实验室设备。
产品型号：RF-500厂商性质：经销商更新时间：2026-10-08访 问 量：16
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日本 JSE 500W 等离子体用射频高频电源 日本 JSE 500W 等离子体用射频高频电源
型号：RF-500，日本 JSE（ジェイエス技研株式会社）生产，属于 500W 系列射频高频电源，可选配件：远程控制器 RFCP-650。
本产品专为等离子发生工艺设计，搭载水晶振荡器，频率波动控制在 ±1kHz 以内；输出稳定度 ±1% 以内，功率 0~500W 连续可调。采用 MOS-FET D 类末级放大，强制风冷散热，整机小型轻量化。内置反射保护、过压、过流、过热切断保护；支持本地面板操作与外部远程模拟 / 数字信号控制，具备正向、反射功率实时数显。
表格
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 品名 | 高频电源（射频发生器） |
| 型号 | RF-500 |
| 频率 | 13.560MHz |
| 额定输出功率 | 500W |
| 输出可调范围 | 0W~500W |
| 频率变动 | ±1kHz 以内 |
| 输入电源 | AC100V/200V 单相 |
| 消耗电力 | 约 800W |
| 输出稳定度 | ±1% 以内（内部控制 CW 模式） |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 输出接口 | N-R 型同轴接头 |
| 控制连接器 | DDK#57-40240 |
| 保护回路 | 反射保护、过压、过流、过热切断保护 |
| 外形尺寸 | 206 (240)×99×350mm（不含凸起） |
| 重量 | 约 5kg |
外部控制规格数字输入：RF 启停、保护复位、状态信号数字输出：RF 运行信号、保护告警模拟输入：功率设定 0-5V；模拟输出：正向 / 反射功率监测 0-5V辅助电源输出：+24V 0.2A、±15V 0.1A
用于等离子体发生作为能量源，应用于半导体工艺、等离子清洗、材料表面改性、薄膜刻蚀、实验室等离子研究、真空等离子处理等行业，适配各类等离子腔体设备。
确认供电为 AC100V/200V 单相电源，可靠接地，连接射频同轴输出至负载腔体。
切换 LOCAL/REMOTE 档位，本地模式可通过面板旋钮设定输出功率；远程模式接入外部控制信号。
接通电源，按下 ON/OFF 启动，面板实时查看正向 FORWARD、反射 REFLECT 功率数值。
设备检测到异常（高反射、过热、过流）自动触发保护切断输出，故障排除后按 RESET 复位。
保持设备通风，定期清理防尘滤网；可选 RFCP-650 远程控制器实现远距离操控。
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