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日本filgen溅射镀膜机带蚀刻模式无热损伤

日本filgen溅射镀膜机带蚀刻模式无热损伤 12151-AB/12151E-AB

●节省空间/台式溅射镀膜机
●快速镀膜(金镀层在 20 秒内电流可达 200A)——对样品无热损伤。
●可溅射/蚀刻
●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。
●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却
●提供各种靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可选)

  • 产品型号:12151-AB/12151E-AB
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-11
  • 访  问  量:260
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详细介绍

日本filgen溅射镀膜机带蚀刻模式无热损伤 12151-AB/12151E-AB 特点介绍


●节省空间/台式溅射镀膜机

●快速镀膜(金镀层在 20 秒内电流可达 200A)——对样品无热损伤。

●可溅射/蚀刻

●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

● 提供各种靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可选)

● CE、RoHS(有害物质限制)

● 多种组合可实现多种选择(*见下文)

例) ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器


日本filgen溅射镀膜机带蚀刻模式无热损伤 12151-AB/12151E-AB 规格参数


尺寸 260(宽)×310(深)×150(高)毫米

蚀刻 溅射/蚀刻模式模块

模型 12151-AB 12151E-AB 12151Q-AB 12151EQ-AB

类型 基本的 带膜厚监测仪 具有蚀刻模式和 膜厚监视器

电源 AC110V 50Hz(60Hz)

配件 Au靶材厚度76μm/阴极57mmφ

作品 真空控制基座单元

溅射镀膜机模块

― 晶体谐振器膜厚监测仪


● 节省空间/台式溅射镀膜机

● 快速镀膜(金镀层在 20 秒内电流可达 200A)——对样品无热损伤。

● 可溅射/蚀刻

● 可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

● 惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

● 提供各种靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可选)

● CE、RoHS(有害物质限制)

● 多种组合可实现多种选择(*见下文)

例) ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器



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