非接触式导向结构陶瓷门型XY舞台轴承

非接触式导向结构陶瓷门型XY舞台轴承
非接触导向结构（上轴、下轴）：采用空气静轴承和无铁芯直线电机的组合，实现了非接触的导向结构。无需担心磨损或粉尘问题，能够在长期内保持亚微米级的运动精度和姿态精度。

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非接触式导向结构陶瓷门型XY舞台轴承
非接触式导向结构陶瓷门型XY舞台轴承

索迪克集成了核心技术，开发出了高速、高精度、无振动的门型舞台。

非接触导向结构（上轴、下轴）：采用空气静轴承和无铁芯直线电机的组合，实现了非接触的导向结构。无需担心磨损或粉尘问题，能够在长期内保持亚微米级的运动精度和姿态精度。
反力抵消结构：上轴采用了加速反力抵消的平衡台结构。即使在高速定位时，也能通过加速反力抵消结构实现无振动的高精度定位。
实现纳米级位置控制：采用了索迪克高速运动控制（SLMC）技术，该技术在超精密加工机和高精度电火花加工机中拥有丰富经验。

索迪克集成了核心技术，开发出了高速、高精度、无振动的门型舞台。

非接触导向结构（上轴、下轴）：采用空气静承和无铁芯直线电机的组合，实现了非接触的导向结构。无需担心磨损或粉尘问题，能够在长期内保持亚微米级的运动精度和姿态精度。
反力抵消结构：上轴采用了加速反力抵消的平衡台结构。即使在高速定位时，也能通过加速反力抵消结构实现无振动的高精度定位。
实现纳米级位置控制：采用了索迪克高速运动控制（SLMC）技术，该技术在超精密加工机和高精度电火花加工机中拥有丰富经验。

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