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您的位置：首页  /  产品展示  /  实验设备  /  脱气机  /  TY-55025日本tysei工业清洗液药液用氟树脂脱气装置

日本tysei工业清洗液药液用氟树脂脱气装置

日本tysei工业清洗液药液用氟树脂脱气装置
这是一款采用氟树脂材质的脱气模块，适用于半导体和FPD（平板显示器）制造工艺中的清洗液、蚀刻液、光刻胶剥离液的脱气处理。也适用于分析和理化领域中使用的药液、有机溶剂、酸碱溶液的脱气处理，以及各类制造工艺中使用的药液、清洗液、涂层液及处理液的脱气。

  • 产品型号：TY-55025
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-10-30
  • 访  问  量：28
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详细介绍

日本tysei工业清洗液药液用氟树脂脱气装置
日本tysei工业清洗液药液用氟树脂脱气装置

这是一款采用氟树脂材质的脱气模块，适用于半导体和FPD（平板显示器）制造工艺中的清洗液、蚀刻液、光刻胶剥离液的脱气处理。也适用于分析和理化领域中使用的药液、有机溶剂、酸碱溶液的脱气处理，以及各类制造工艺中使用的药液、清洗液、涂层液及处理液的脱气。

产品型号和特点

  1. TY-55010（Φ120mm H120mm）
    • 流量范围：≤20ml/min.
  2. TY-55025（Φ120mm H120mm）
    • 流量范围：≤50ml/min.
  3. TY-55080（Φ120mm H160mm）
    • 流量范围：≤150ml/min.
  4. TY-55100（Φ120mm H160mm）
    • 流量范围：≤250ml/min.
  5. TY-55250（Φ120mm H240mm）
    • 流量范围：≤500ml/min.

组合型号

  • TY-55010 & TY-88010
    • 流量范围：≤20ml/min 和 ≤500ml/min.

技术规格

  • 耐压：0.3 MPa
  • 最高使用温度：50℃
  • 接口：
    • 通液口：1/4"
    • 真空端口：Φ6
  • 接液部材质：PFA（脱气膜、结束部、接合部）
  • 脱气率：80%的流量乘以3

这是一款采用氟树脂材质的脱气模块，适用于半导体和FPD（平板显示器）制造工艺中的清洗液、蚀刻液、光刻胶剥离液的脱气处理。也适用于分析和理化领域中使用的药液、有机溶剂、酸碱溶液的脱气处理，以及各类制造工艺中使用的药液、清洗液、涂层液及处理液的脱气。

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