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日本IMT半导体材料高精度研磨抛光机

日本IMT半导体材料高精度研磨抛光机
可以为每个试样分别设置Z轴(高度)方向的研削值,精度可达1μm。
时间模式自动研磨:支持时间管理的研磨模式,可在1个工程中设置2个阶段的变化。
研磨剂自动滴注:配备“研磨剂自动滴注装置",可实现无人自动研磨。
Q-roy适用于需要高精度研磨的实验室和工业环境,特别是在材料科学、金属加工、电子制造等领域,用于制备金相试样、半导体材料等。

  • 产品型号:Q-roy
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-11-04
  • 访  问  量:33
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联系电话:13823182047

详细介绍

日本IMT半导体材料高精度研磨抛光机
日本IMT半导体材料高精度研磨抛光机

主要特点

  • 3个试样独立研削值设置:可以为每个试样分别设置Z轴(高度)方向的研削值,精度可达1μm。
  • 时间模式自动研磨:支持时间管理的研磨模式,可在1个工程中设置2个阶段的变化。
  • 研磨剂自动滴注:配备“研磨剂自动滴注装置",可实现无人自动研磨。
  • 研削值误差补偿:具备补偿功能,可纠正由于圆板振动或布轮弹性引起的研削误差。
  • 操作简便:配备大按钮的触摸面板和方便的模拟按钮,操作简单。

本体规格

  • 圆板尺寸
    • 高精度研磨圆板:Φ223mm或Φ200mm
    • 高精度琢磨圆板:Φ200mm
    • 磁性表面圆板:Φ200mm
    • 可选配Φ250mm圆板,但圆板需单独购买。
  • 研磨功能:个别荷重的研磨
  • 转速
    • 圆盘:50-300rpm(正转/反转切换)
    • 夹具:50-200rpm
  • 试样数量:Φ25mm、30mm、40mm×3个
    • 特殊尺寸夹具和特殊夹具需定制
    • 夹具需单独购买
  • 加压力:个别荷重:5-30N/每个试样
  • 操作:触摸面板+模拟按钮+转速旋钮
    • 可选择“研削值自动停止"或“时间停止"
    • 研磨水自动启动/停止,另外配备供水按钮
  • 研削值设置
    • 每个试样可在5μm-5mm范围内设置Z轴方向的研削值
    • 最大可设置H20mm的试样
    • 最大研削量可达5mm
    • 设置精度为1μm
  • 头机构:头可上下移动,上升时可手工研磨
  • 气源:0.5-0.7MPa
    • 如果气压超过0.7MPa,需要另外配备调压器
  • 电机功率
    • 头部:60W,无刷电机
    • 底座:120W,无刷电机
  • 电源:单相100V或单相220V
  • 尺寸/重量:宽480mm×深670mm(含排水口)×高500mm(头部升起时650mm),重量45kg

应用场景

Q-roy适用于需要高精度研磨的实验室和工业环境,特别是在材料科学、金属加工、电子制造等领域,用于制备金相试样、半导体材料等。


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