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日本active实验型高速旋转涂布机涂覆仪

日本active实验型高速旋转涂布机涂覆仪
一种将涂布液滴在平整基板中央后，通过高速旋转产生的离心力，使其均匀铺展成薄膜的装置。
高精度・高速旋转（最高 12 000 rpm）
标配带联锁传感器的安全盖，开盖即停

  • 产品型号：ACT-300AⅡ-HS
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-20
  • 访  问  量：21
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详细介绍

日本active实验型高速旋转涂布机涂覆仪
日本active实验型高速旋转涂布机涂覆仪
一种将涂布液滴在平整基板中央后，通过高速旋转产生的离心力，使其均匀铺展成薄膜的装置。

可对应圆形基板最大φ150 mm、方形基板最大□110 mm。
机型：スピンコーター ACT-300AⅡ-HS（对应 φ150 mm）
高精度・高转速スピンコーター（スピンコート機）
特征
  • 高精度・高速旋转（最高 12 000 rpm）
  • 标配带联锁传感器的安全盖，开盖即停
  • 安全盖设有滴液孔（带滑动盖），旋转中也可追加滴液
  • 多段程序：10 步 × 100 组配方，可存储
  • 可对应各种溶液的开发与评估
  • 可选配：Teflon涂层杯、自动滴液、氮气吹扫等
用途
半导体、太阳能电池、移动终端、光学镜片、眼镜镜片、纳米技术与生物、住宅建材、医疗、液晶等显示器，以及需要获得涂膜/薄膜的实验、研究、小批量生产。
基板尺寸
Φ5～Φ150mm（最大Φ6英寸、□110mm）对应基板
杯内径
Φ300毫米
外形寸法（mm）
W400×D570×H410（安全罩关闭时，带调节器可水平调整）
※因规格不同，仅供参考
电源
1Φ　100V－10A （交流伺服电机400W） 50／60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～12000转/分钟/±2转/分钟以下（负载时）
最高转速的加速时间
12000转/分钟/2.5秒以下（根据负载可调整至最快速度）
基板吸着圧力
-70 ～ -80kPa
真空泵排气量 12L/min以上
（装置侧 外径Φ6管快速连接）


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