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日本satotekkou耐火耐冲击研磨材料碳化硅球

日本satotekkou耐火耐冲击研磨材料碳化硅球
碳化硅是硅的碳化物,1891 年美国在尝试合成钻石时被偶然发现。它兼具多种优异性能,传统用作耐火材料、研磨/磨削材料,近年来作为精细陶瓷、工程陶瓷及半导体材料备受关注。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-12-02
  • 访  问  量:7
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详细介绍

日本satotekkou耐火耐冲击研磨材料碳化硅球
日本satotekkou耐火耐冲击研磨材料碳化硅球

  1. 材料背景
    碳化硅是硅的碳化物,1891 年美国在尝试合成钻石时被偶然发现。它兼具多种优异性能,传统用作耐火材料、研磨/磨削材料,近年来作为精细陶瓷、工程陶瓷及半导体材料备受关注。
  2. 面向半导体部件的需求
  3. 基础数据
    特征
  • 轻质、高温强度保持性好
  • 热导率高(≈ 120 W/m·K)
  • 耐磨损、耐热冲击
  • 高温区机械强度下降小
  • 高硬度,滑动特性优异
注意
  • 会被熔融盐、熔融铁溶解
用途
汽车发动机部件、化工泵、耐热部件、耐磨损部件、半导体制造装置部件、轴承等
  1. 球体使用示例
  • 球轴承 / 推力球轴承
  • 脚轮(自由滚珠轴承)
  • 圆珠笔笔尖滚珠

  1. 高纯原料
  • 采用 β-SiC 或 α-SiC 99 % 以上高纯粉体,金属杂质 ≤ 0.05 %,满足半导体级洁净要求。
  1. 真球度与尺寸精度
  • 真球度 ≤ 3 µm(G3 级),直径公差 ±0.5 µm(φ 0.3-50 mm 全尺寸对应)
  • 表面粗糙度 Ra ≤ 0.015 µm,降低滚动摩擦与颗粒脱落。
  1. 优异的机械-热性能
    | 项目 | 典型值 ||------|--------|| 密度 | 3.15 g/cm³(比钢轻 60 %) || 维氏硬度 | 2 800 HV(是轴承钢的 3 倍) || 弹性模量 | 410 GPa || 弯曲强度 | 550 MPa(1 200 ℃ 仍保持 80 %) || 热导率 | 120 W/(m·K)(与铝相当) || 热膨胀系数 | 4 × 10⁻⁶ /K(仅为钢的 1/4) |
→ 高速、高温、高载荷下仍保持刚性,且耐热冲击 ΔT > 400 ℃。
  1. 耐腐蚀-无磁性
  • 耐酸、碱、有机溶剂;无磁性,可用于 MRI、EUV、等离子体环境。
  1. 半导体/真空兼容
  • 真空脱气 ≤ 1 × 10⁻⁷ Pa·m³/s,符合 SEMI F57 标准;与 HF、HNO₃ 清洗液兼容。
  1. 尺寸系列与可追溯性
  • φ 0.3 mm – φ 50 mm 每 0.1 mm 一档;提供半球、打孔球、球座定制。
  • 月产 50 万粒,每批附 SEMI 格式检验报告(纯度、真球度、表面粗糙度、裂纹检测)。
  1. 典型应用
  • 半导体晶圆搬运机器人轴承、干式真空泵阀球
  • EUV 光刻机高真空球导轨、等离子体刻蚀设备球衬
  • 高温化工泵、汽车涡轮增压器轴承
  • 实验室球-盘磨损试验标准球(SiC-on-SiC)


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