日本P.R.A.静电卡盘ESC高压电源 电压可调

日本P.R.A.静电卡盘ESC高压电源 电压可调

日本P.R.A.静电卡盘ESC高压电源 电压可调

2. ESC 是什么？半导体硅片或 LCD 玻璃基板在真空腔室内必须被“无夹持"固定。传统机械爪易划伤、局部应力大；真空吸盘又无法在真空中工作。于是利用静电力：在陶瓷盘内部埋设一对电极，通高压后形成“库仑吸盘"，即静电卡盘（ESC）。该方法已广泛用于 PVD、CVD、ETCH 等制程。

1. 电气规格（可定制）

• 输出电压：±1 kV ～ ±5 kV（连续可调）
• 输出电流：1 ～ 10 mA
• 极性：单极 / 双极 可选
• 中心抽头（Bias）：Floating / FG / Bias 三种接法
• 远程接口：数字 I/O、RS-232C（可扩展 LAN、USB）
• 环保：符合 RoHS

2. 核心优势

• 原位替换：保持原安装孔位与接口，直接替换现有进口电源
• 多重保护：过流限制、极性反接、电弧放电抑制，提升工艺良率
• 接口齐全：单口型、J-R 型、多通道阵列等 ESC 规格全对应

电极附近出现反极性电荷，陶瓷表面则感应出同极性电荷。当硅片靠近时，片内诱导电荷与表面电荷相互吸引，产生吸附力。吸力大小与表面电荷量成正比，而电荷量由高压电源精确控制。