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半导体晶圆缺口部倒角研磨用金刚石缺口砂轮

半导体晶圆缺口部倒角研磨用金刚石缺口砂轮
这是专门用于半导体晶圆缺口部倒角精加工的砂轮产品。通过独特的加工技术,实现了钻石层相对于柄部优异的偏摆精度。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-01-15
  • 访  问  量:10
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详细介绍

半导体晶圆缺口部倒角研磨用金刚石缺口砂轮

半导体晶圆缺口部倒角研磨用金刚石缺口砂轮

这是专门用于半导体晶圆缺口部倒角精加工的砂轮产品。通过独特的加工技术,实现了钻石层相对于柄部优异的偏摆精度。

产品特点

1. 高精度加工技术

  • 采用独特的加工技术,钻石层相对于柄部的偏摆精度良好
  • 确保加工时的稳定性和精度

2. 广泛的材料适用性

除了传统的硅晶圆外,还可适用于:
  • SiC(碳化硅/硅碳化物)
  • LT(钽酸锂/锂钽酸盐)
  • 石英晶圆
  • 蓝宝石晶圆

3. 沟槽形状多样化

  • 标准R型(圆形・全圆形)和T型沟槽
  • 可对应左右非对称形状等特殊形状

适用材料范围

  • 硅(Silicon)
  • SiC(碳化硅/硅碳化物)
  • LT(钽酸锂/锂钽酸盐)
  • LN(铌酸锂)
  • 石英(Quartz)
  • 蓝宝石(Sapphire)

产品规格参数

标准规格

  • 粒度规格:#400〜#3000
  • 外径:〜4D(最小部径2D)
  • 轴径:h6公差
  • 全长:〜35L
  • 偏摆精度:≦5μm@Min.
  • 沟槽角度公差:≧0.5度(单角)
  • 沟槽数量:〜5沟

使用结合剂

  • 金属结合剂(Metal Bond)

应用优势

该砂轮专门针对晶圆缺口部的精密倒角加工设计,通过高精度的制造工艺确保了加工稳定性,特别适合大尺寸化合物半导体晶圆的缺口加工需求。产品覆盖了当前主流的半导体材料



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