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日本tysei半导体清洗液氟树脂材质脱气模块 这是一款在脱气膜和所有接触液体部件均采用氟树脂的脱气模块。
产品型号：TY-55025/TY-55025厂商性质：经销商更新时间：2026-01-29访 问 量：12
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日本tysei半导体清洗液氟树脂材质脱气模块
日本tysei半导体清洗液氟树脂材质脱气模块
| 领域 | 应用 |
|---|---|
| 半导体/FPD制造 | 清洗液、蚀刻液、光刻胶剥离液的脱气 |
| 分析与理化领域 | 药液、有机溶剂、酸、碱溶液的脱气 |
| 各行业制造工艺 | 药液、清洗液、涂覆液、处理液的脱气 |
| 外形尺寸 | 型号 | 类型 | 流量范围 |
|---|---|---|---|
| Φ120×H120mm | TY-55010 | 低压损型 | ≤20 ml/min |
| TY-55025 | 标准型 | ≤50 ml/min | |
| Φ120×H160mm | TY-55080 | 标准型 | ≤150 ml/min |
| TY-55100 | 低压损型 | ≤250 ml/min | |
| Φ120×H240mm | TY-55250 | 标准型 | ≤500 ml/min |
| タイプ | 製品名 | 流量範囲 (ml/min)*1 | 膜内容積 (ml) | 外形寸法*2 (mm) | 耐 圧 (MPa) | 使用温度 (℃) | 接 続 | 接液部材質 | 脱気率80% の流量*3 | |
| 通液ポート | 真空ポート | |||||||||
通常タイプ | TY-55025 | ≦ 50 | 40 | Ф120×120 | 0.3 | 50 | FAINALLOCK 1/4" | ワンタッチ継手 Ф6 | PFA （脱気膜、結束部、接合部） | 25ml/min |
| 通常タイプ | TY-55080 | ≦ 150 | 110 | Ф120×160 | 0.3 | 50 | FAINALLOCK 1/4" | ワンタッチ継手 Ф6 | PFA （脱気膜、結束部、接合部） | 80ml/min |
| 通常タイプ | TY-55250 | ≦ 500 | 300 | Ф120×240 | 0.3 | 50 | FAINALLOCK 1/4" | ワンタッチ継手 Ф6 | PFA （脱気膜、結束部、接合部） | 200ml/min |
| 低圧損タイプ | TY-55010 | ≦ 20 | 16 | Ф120×120 | 0.3 | 50 | FAINALLOCK 1/4" | ワンタッチ継手 Ф6 | PFA （脱気膜、結束部、接合部） | 10ml/min |
| 低圧損タイプ | TY-55100 | ≦ 250 | 150 | Ф120×160 | 0.3 | 50 | FAINALLOCK 1/4" | ワンタッチ継手 Ф6 | PFA （脱気膜、結束部、接合部） | 100ml/min |
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