日本kaijo光刻胶剥离点状喷淋超声波清洗机

日本kaijo光刻胶剥离点状喷淋超声波清洗机
介于常规超声波（28-40kHz）和兆声波（430kHz+）之间的中间频率
强力清洗：相比兆声波，200kHz有更强的物理清洗力，同时保持较低的空化损伤
继承QUAVA高性能：专为单片（枚葉）晶圆清洗优化

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详细介绍

日本kaijo光刻胶剥离点状喷淋超声波清洗机

这是一款搭载中频（200kHz）超声波的点状喷淋型单片刻洗设备（枚葉用）。
KAIJO的技术实力将200kHz中频超声波与清洗液结合，实现了高性能的喷淋清洗。

技术规格

参数	规格
标称频率	200 kHz
发生器可调范围	40 - 250 kHz（宽范围连续可调）

项目	规格
型号	20110（QT-017）型
频率范围	40 - 250 kHz（连续可调，覆盖中频区）
标称工作频率	200 kHz
输出	50W*
最小输出	1W
输出调节精度	0.1W步进微调
显示	4位数字显示
振荡方式	PLL振荡、A模式
频率跟踪	软件自动跟踪PLL方式
电源	AC100～240V 250VA 单相50/60Hz（宽电压）
远程控制	支持与上位计算机（Host PC）相互通信及远程功率变更
软启动	搭载Soft Start功能，防止启动冲击
免调整设计	更换振动子时无需重新调整信号发生器
外部接口	远程端子、外部输出控制、强制停止端子、综合报警端子、模拟输出（4-20mA）
保护功能	输出异常报警、振动子异常报警、发热异常报警
外形尺寸	218（W）×258（D）×138（H）mm

注*：输出功率和频率会根据所连接的振动子型号自动限制和控制。

特征	200kHz（本设备）	430/950kHz（高频版）	28-40kHz（常规超声）
清洗机制	中频空化+声流	主要声流加速度	强力空化气泡破裂
损伤性	低	极低（几乎无空化）	较高（可能损伤图案）
去除力	强（适合去胶/去渣）	中等（适合微粒去除）	（但损伤风险大）
适用工艺	光刻胶剥离、蚀刻后清洗	纳米颗粒去除、精密清洗	粗洗、重度污染去除

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