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日本NSK 高精度测量显微镜 光切断测定仪器

日本NSK 高精度测量显微镜 光切断测定仪器日商精密光学 KY-90 光切断测定机,采用光切断法实现非接触式高精度测量。搭载正立像光学系统,综合倍率 100×,Z 轴精度 1μm,XY 平台支持 50×50mm 行程,可承载大型试样。设备结构稳定、照明均匀,广泛用于精密制造、半导体等领域的微小形貌检测。

  • 产品型号:KY-90
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-03-28
  • 访  问  量:9
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详细介绍

产品细节与外观

这款仪器由日商精密光学株式会社打造,整机采用低重心稳定平型底座设计,结构紧凑且抗震性优异。光学系统搭载正立像 10× 接眼镜(单眼 / 双眼可选),搭配多级对焦机构(粗动 100mm、中粗动 20mm、微动 2.0mm),操作精准流畅。XY 轴移动平台支持 50×50mm 行程,可承载大型试样,同时配备 TV 相机 / 监视器或偏振光相机等观测模块,满足不同可视化需求。

⚡ 核心性能优势

依托光切断法实现非接触式高精度测量,通过投射狭缝与基准狭缝的配合,清晰呈现被测物表面断面形貌。标准配置下综合倍率 100×,可选 5×/15×/20× 物镜;Z 轴测量精度达 1μm,XY 轴可扩展至 1μm 数字读数,支持三维测量。照明系统采用卤素灯与光纤组合,光照均匀稳定,适合长时间高精度测量作业。

🛠️ 材质与工艺

机身采用高强度合金铸造,保证长期使用的结构稳定性;光学镜头选用高透光率玻璃并经多层镀膜处理,提升成像清晰度;投射狭缝采用高精度蚀刻工艺,标准为 10μm,可选 3μm/30μm/80μm 及半透半反镜型;XY 平台配备精密丝杠与导向机构,确保移动平滑无背隙,维持长期测量精度。

📊 技术参数

  • 光学系统:正立像,10× 接眼镜 45° 倾斜(单眼 / 双眼可选),综合倍率 100×,物镜可选 5×/15×/20×

  • 狭缝系统:基准狭缝为平行 2 本线,可选中心镂空十字 / 刻度目盛;投射狭缝标准 10μm,可选 3μm/30μm/80μm

  • 对焦机构:粗动 100mm、中粗动 20mm、微动 2.0mm 三级调节

  • XY 平台:50×50mm 移动行程,显微计 10μm 读数,数字 1μm 读数

  • Z 轴测量:Z 轴数字 gauge,1μm 读数,支持三维测量与 XYZ 轴计数器

  • 照明:卤素灯照明 3 口 + 光纤 3 根,光照稳定均匀

  • TV 装置:1/2 英寸黑白相机 + 9 英寸黑白监视器(KY-90-TV),或偏振光相机(KY-90-P)

🎯 应用场景

广泛应用于精密制造、半导体、电子、材料检测等领域,可测量芯片封装台阶、PCB 线路深度、模具表面差、薄膜厚度、陶瓷 / 玻璃裂纹等微小形貌,也适用于科研机构的材料表面分析与质量管控。

📦 包装与使用说明

仪器采用定制防震木箱包装,内部填充缓冲材料保护光学组件。开箱后需由专业工程师完成水平校准、光路调试与精度验证。操作时将样品置于 XY 平台,通过接眼镜或监视器观察狭缝像,对准测量点后读取 Z 轴数值;可切换不同狭缝与照明模式,适配多样测量需求。日常需避免灰尘与震动,定期清洁光学镜头。

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