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日本 NSK 光切断法自动对焦高精度测量仪

日本 NSK 光切断法自动对焦高精度测量仪日商精密光学 AF 深度高度测量机,采用光切断法与自动对焦技术,实现 0.1μm 高精度测量。搭配彩色监视器实时观测,支持自动追踪与手动测量,适用于芯片、PCB、模具等微小台阶、深度与高度差检测。设备结构稳定、成像清晰,广泛用于精密制造与材料检测领域。

  • 产品型号:AF-Micron 系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-03-28
  • 访  问  量:10
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详细介绍

日本 NSK 光切断法自动对焦高精度测量仪 日本 NSK 光切断法自动对焦高精度测量仪

这款仪器由日商精密光学株式会社打造,整机采用米白色工业级机身,结构紧凑稳固。核心光学系统搭载 13 英寸液晶彩色监视器与彩色电视摄像机,可实时呈现被测物表面的狭缝断面形貌;机身配备 XY 轴移动平台与操作控制盒,搭配数字线性表显示单元,直观呈现测量数值。光源模块与光学镜头组分离设计,便于维护与光路调整。

⚡ 核心性能优势

它是结合光切断法狭缝观察点光源自动对焦(AF)追踪的新型测量设备,通过红色激光点自动捕捉阶差变化,Z 轴快速追随实现 0.1μm 分辨率的数字显示。AF 驱动具备高连续追踪性,可在 XY 轴移动平台上完成高效测量,重复精度控制在 ±1μm 以内;关闭自动开关后,可切换为手动微米级测量模式,兼顾自动化与手动操作需求。光切断仰角除标准 90° 外,还可定制 30°、60°、120°,适配不同测量场景。

🛠️ 材质与工艺

机身采用高强度合金铸造,保证长期使用的抗震性与结构稳定性;光学镜头选用高透光率玻璃并经多层镀膜处理,提升成像对比度;Z 轴驱动采用精密丝杠与导向机构,消除背隙确保移动平滑;投射狭缝采用高精度蚀刻工艺,标准配置为 10μm 半透半反镜型,可选 30μm、80μm 规格,满足不同精度需求。

📊 技术参数

  • 观察方式:光切断方式(狭缝光学系统深度高度测量)

  • 物镜:标配 10 倍,可选 5 倍、20 倍

  • Z 轴驱动:点光源 AF 连续追踪方式(离线可手动测量)

  • 投射狭缝:10μm 半透半反镜型(可选 30μm、80μm)

  • Z 轴测量:数字线性表 0.1μm 读数

  • 重复精度:±1μm 以内

  • 光源:2 类 350mW 半导体激光器、150W 卤素灯(配 1m 光纤导管)

  • 影像系统:彩色电视摄像机 + 13 英寸液晶彩色监视器

🎯 应用场景

广泛应用于精密制造、半导体、电子元器件、材料检测等领域,可测量芯片封装台阶高度、PCB 线路沟槽深度、精密模具表面差、陶瓷 / 玻璃脆性材料裂纹等,也适用于科研机构的材料表面形貌分析与质量管控。



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