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日本 OmniPhysics 半导体晶圆测试台设备日本 OmniPhysics SE-1000 是一款小型化手动探针台,支持 10mm~φ5 英寸样品测试,配备体视显微镜,工作台采用 X/Y/θ 三轴设计,体积小巧易携带,价格亲民,是半导体研发与教学场景的理想基础测试设备。
产品型号:SE-1000
厂商性质:经销商
更新时间:2026-05-21
访 问 量:12
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日本 OmniPhysics 半导体晶圆测试台设备 日本 OmniPhysics 半导体晶圆测试台设备
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 卡盘顶部外形 | φ130mm |
| 卡盘顶部平面度 | ±20μm 以下 |
| X-Y 台移动量 | X 轴:127mm、Y 轴:180mm |
| 样品台旋转 | 360°(搭载热卡盘时 180°) |
| 探针载台 Z 轴移动量 | 13mm |
| 探针载体 UP/DOWN 行程 | 接触~分离:400μm;分离上升:10μm |
| 显微镜运动 | X-Y 自由运动 |
| 外形尺寸 | 360mm (宽) × 380mm (深) × 500mm (高) |
| 重量 | 约 30kg(搭载 4 台体视显微镜・定位器) |
高校教学:半导体器件基础电学测试教学、实验课程设备
小型研发:初创企业或研发团队的器件原型测试、样品筛选
实验室基础测试:低频次、非批量的半导体样品电学特性评估、工艺验证