日本 TECHNUM 非接触激光三维轮廓测量仪

日本 TECHNUM  非接触激光三维轮廓测量仪 日本 TECHNUM  非接触激光三维轮廓测量仪

1. 产品概述

TDS2100 系列是日本 TECHNUM 推出的桌面经济型激光三维形貌测量装置，整机体积小巧、采购成本更低，兼容市面主流激光位移传感器。

设备分为两大测量原理机型：共焦点式（AW/BW） 主打超高精度微区检测；三角测距式（CG/DG） 兼顾大范围测量与通用性。全程非接触光学检测，不会划伤超薄、脆弱样品，支持透明玻璃、镜面晶圆、金属、树脂、纤维等全品类工件三维轮廓测绘，配套 Windows 端专用分析软件，一站式完成形貌采集与数据解析。

2. 四大机型核心参数对照表

表格

参数项目TDS2100AW（共焦超高精度）TDS2100BW（共焦长工作距）TDS2100CG（三角标准型）TDS2100DG（三角大量程）

测量原理共焦点式共焦点式三角测距式三角测距式

工作距离6mm30mm10mm30mm

Z 轴测量范围±0.3mm±1mm±1mm±5mm

光斑直径φ2μmφ7μmφ20μmφ30μm

分辨率0.01μm0.01μm0.01μm0.05μm

激光规格670nm ClassⅠ，170μW670nm ClassⅠ，170μW650nm ClassⅠ，0.3mW650nm ClassⅢA，4.8mW

线性度±0.5% F.S±0.3% F.S±0.03% F.S±0.05% F.S

适配样品透明 / 镜面均可测透明 / 镜面均可测透明 / 镜面均可测透明 / 镜面均可测

3. 核心产品优势

硬件核心特点

✅ 小型低成本，实验室桌面摆放

整机紧凑型设计，无需专用大型机房，价格远低于进口3D 轮廓仪，降低研发检测投入。

✅ 双光路技术覆盖全场景

共焦机型实现微米级微小图案超精细扫描；三角测距机型支持大落差、大范围工件测量。

✅ 兼容透明、镜面、金属、树脂全材质

特殊光学光路消除反光、透射干扰，可直接测量玻璃、晶圆、光学透镜、抛光金属件。

✅ 非接触无损检测

无探针接触样品，杜绝超薄薄膜、光刻胶、软质纤维划伤风险。

✅ 平台可定制化开发

标配 3 种标准行程工作台，可根据客户样品尺寸、检测流程定制运动系统。

✅ 通用传感器拓展

支持外接市面主流商用激光位移传感器，灵活升级检测精度与量程。

软件功能概要

可视化操作：Windows 图形界面，鼠标一键完成测量参数设置与扫描；

多维度数据输出：自动生成截面曲线、二维灰度云图、三维立体形貌图；

专业分析工具：截面面积、体积、平面度、曲率、高度差自动计算；

多模式采集：内置多种测量扫描模式，适配微区抽检、全域大面积扫描；

数据导出：原始测量数据、形貌图表可存档导出用于工艺报告。

4. 典型应用场景

半导体 & 液晶行业

晶圆表面凹凸形貌、液晶基板、密封胶截面轮廓、芯片凸点高度测量；

光学元器件检测

光纤断面、镜头球面曲率、透光玻璃薄膜厚度与表面形变；

精密树脂 / 金属加工

注塑件表面平整度、刀片轮廓、金属零部件三维形貌缺陷；

新材料研发

纤维、涂层、软质薄膜表面起伏、体积、厚度分布表征；

高校实验室

新材料工艺验证、微小结构形貌表征、小批量样品无损检测。