日本 TECHNUM 非接触激光表面粗糙度检测仪

日本 TECHNUM  非接触激光表面粗糙度检测仪 日本 TECHNUM  非接触激光表面粗糙度检测仪

1. 产品概述

TFS2100 系列是日本 TECHNUM 推出的经济型非接触粗糙度 & 断面轮廓二合一测量设备，同品牌 TDS2100 三维形貌仪的单线剖面专用款，主打低成本桌面式精密表面检测。

主机为标准化扫描平台，可搭配市售商用激光位移传感器，标配 TFS2100AW 共焦点传感模组，光斑仅 2μm，能捕捉微观纹理细微起伏；全程光学非接触扫描，避免传统接触式粗糙度仪探针压伤超薄薄膜、抛光镜面、软质橡胶样品；内置符合 JIS 工业粗糙度标准算法，同时输出断面轮廓曲线与全套粗糙度参数，工作台行程可按工件定制，适合高校材料实验室、精密加工、光学元件研发。

2. TFS2100AW 核心硬件参数

表格

参数项目TFS2100AW 规格

测量原理共焦点式激光传感

工作距离6mm

Z 轴测量范围±0.3mm

激光光源670nm 可见光 ClassⅠ 安全半导体激光，170μW

光斑直径φ2μm（超小微区精细扫描）

分辨率0.01μm

重复精度0.01μm

线性度±0.5% F.S

兼容被测材质金属板材、树脂、橡胶、薄膜、透明玻璃、镜面抛光件

配套主机 TFS2100仅扫描运动平台，激光传感器需单独选配

3. 核心产品优势

硬件性能亮点

✅ 极小 2μm 光斑，微观纹理精准捕捉

超小激光光斑，可测量微沟槽、微细纹路、芯片微小图案表面粗糙度，分辨力达 0.01μm，媲美进口粗糙度设备。

✅ 全材质兼容，透明 / 镜面无需预处理

共焦光路消除反光、透射干扰，玻璃、晶圆、抛光金属、透明薄膜无需喷涂即可直接测量。

✅ 非接触无损检测

无硬质探针接触工件，超薄光刻胶、软橡胶、光学镀膜不会产生划痕、压痕。

✅ 小型桌面机身，低成本投入

体积小巧放置于普通实验台，采购成本远低于进口接触式粗糙度仪、白光干涉仪。

✅ 传感器自由选配拓展

主机平台兼容市面主流激光位移传感器，可按需更换共焦、三角测距传感模块切换精度与量程。

✅ 定制化扫描行程

标准行程基础上，可根据长条工件、大面积板材加长扫描轴行程。

软件功能亮点

合规 JIS 工业粗糙度标准

内置 JIS'94、JIS'01 全套粗糙度算法，输出 Ra、Rz、Ry 等标准参数，可直接对标行业检测报告；

自定义企业专属粗糙度参数

支持导入客户自研判定参数，适配特殊工艺品质管控标准；

断面轮廓 + 粗糙度双图谱输出

软件同步生成二维断面曲线、表面粗糙度波纹图，直观展示纹理起伏；

高速连续采集

扫描数据高速实时传输，缩短单件样品检测时长，适配批量样品测试；

多测量模式切换

微区局部抽检、长距离全域剖面扫描两种模式自由切换。

4. 典型应用场景

精密金属加工行业

不锈钢、钛合金、铝板、冲压件表面粗糙度、切削纹路断面轮廓检测；

光学 & 薄膜材料

光学玻璃、PET 薄膜、镀膜基板、透明树脂表面微观纹理表征；

橡塑新材料研发

橡胶、软质塑料、复合薄膜无接触粗糙度测试，避免探针压损；

半导体微电子

晶圆表面微图案、光刻胶薄层微小区域粗糙度剖面测量；

高校 / 科研院所实验室

新材料表面工艺迭代、微观形貌基础表征、教学检测设备。