日本 ALPS MLS 系列 纯水药液高压增压泵

日本 ALPS MLS 系列 纯水药液高压增压泵 日本 ALPS MLS 系列 纯水药液高压增压泵

1. 产品性能

MLS 系列为气动驱动液体增压泵，采用气液增压结构，运行稳定、压力可控；接触介质部件耐腐蚀，适配洁净药液，满足半导体高洁净工艺要求；压力区间宽，升压平稳，可持续稳定输出高压流体，支持成套集成增压系统。

2. 型号与参数

全系分为 MLS-A、MLS-C、MLS-D、MLS-E、MLS-2D 五大系列：

最高吐出压力区间 2MPa~500MPa，增压倍率 4~891 倍；单次排量 3.17~141.3ml/st；0.5MPa 驱动气源下，空气消耗量 310~1600NL / 分。

代表型号：MLS-A-20、MLS-C-100、MLS-D-2500、MLS-E-3000、MLS-2D-5000。

3. 适用流体

普通水、纯水、超纯水、IPA、NMP、光刻胶等多种半导体工艺化学品。

4. 用途

药液增压输送、超纯水高压供给、精密流体加压、工艺药液定量输送、高压流体测试、半导体清洗 / 涂胶制程供液。

5. 使用行业

半导体晶圆制造、微电子、精密电子、新能源、精细化工、实验室高压流体测试、光学精密加工。