日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源

日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源 日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源

产品概述

HCU 系列为日本松定 Matsusada 专为静电吸盘（E-CHUCK）开发的双极性高压电源。除常规电压通断控制外，可通过极性反转实现晶圆、玻璃基板平滑剥离，保障吸附稳定，缩短生产节拍，广泛适配半导体真空工艺场景。

产品性能特点

静电吸盘专项优化，双极性 ± 输出设计；

极性反转 + 强制接地功能，避免基板吸附残留，实现顺畅剥离；

内置 RF 射频滤波器，适配真空腔体射频环境；

支持本地面板、远程端子、RS232 通信三种操控方式；

可选配不同长度高压输出电缆，支持 MHV 接口线缆定制。

产品型号与输出参数

表格

型号输出电压输出电流

HCU-0.5PN10(R)0~±0.5kV10mA

HCU-1PN3(R)0~±1kV3mA

HCU-1.5PN2(R)0~±1.5kV2mA

HCU-2PN1(R)0~±2kV1mA

HCU-2PN3(R)0~±2kV3mA

HCU-4PN1(R)0~±4kV1mA

HCU-5PN2(R)0~±5kV2mA

用途

为半导体静电吸盘提供可控双极性高压，实现晶圆、玻璃基板吸附与释放；应用于真空镀膜、刻蚀、薄膜工艺里基板夹持工序。

使用行业

半导体晶圆制造、面板显示、真空设备、精密镀膜、光电材料加工行业。

配件信息

标准附件：CN-BNC-HVPP (5) 5 米高压电缆（两端 MHV 接头）；

可选配件：-L (7m) 7 米高压电缆，下单时追加型号后缀即可。