日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源

日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源 日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源

产品概述

HECA 系列是日本松定 Matsusada 专为静电吸盘（静电卡盘 ESC）研发的机架式双极性高压电源，采用放大器架构，具备高速响应特性，支持单极 2 通道、双极性两种工作模式。除常规吸合通断控制外，可通过极性反转实现晶圆、玻璃基板平滑剥离，提升生产良率，缩短工艺流程。

核心性能优势

双极性输出，电压区间 ±1kV~±10kV，兼容库仑力、静电吸盘；

高速极性反转，无负载条件下反转时间 100ms；无继电器电路设计，可靠性高、使用寿命长；

可选内置 RF 射频滤波器、输出继电器、强制接地开关、电压限制器等选配功能；

支持本地面板、远程触点两种方式独立控制各通道极性切换，适配自动化产线集成。

完整型号与输出参数

表格

型号输出电压输出电流

HECA-1B6×2±1kV6mA

HECA-1B30×2±1kV30mA

HECA-3B2×2±3kV2mA

HECA-3B10×2±3kV10mA

HECA-5B1×2±5kV1mA

HECA-5B6×2±5kV6mA

HECA-10B1×2±10kV1mA

HECA-10B0.5±10kV0.5mA

HECA-10B3±10kV3mA

可选配件：射频滤波器 (-LRf)、输出继电器 (-LRy)、极性切换 (-LPo)、输出电压限制器 (-LVI)、7 米高压输出电缆。

应用行业与用途

主要应用半导体晶圆制造、液晶 / OLED 显示面板、光学基板加工设备；

用于刻蚀、薄膜沉积、检测设备内静电吸盘供电，实现硅片、玻璃基板稳定吸附与无冲击剥离，适配真空工艺设备配套集成。