日本 松定 极性反转嵌入式高压电源

日本 松定 极性反转嵌入式高压电源 日本 松定 极性反转嵌入式高压电源

产品概述

HMEC 系列为日本松定研发、静电吸盘（ESC）专用单输出嵌入式极性反转高压电源，采用轻量化小型模块化设计，可直接集成至真空制程设备内部。设备支持外部信号控制输出电压与输出极性切换，解决晶圆、玻璃基板吸附与剥离工艺需求，同时兼容库仑力两种静电吸盘工况。

产品核心性能

支持极性快速切换，实现基板平滑剥离，降低裂片风险，缩短生产周期；

搭载输出电压、输出电流实时监测功能，便于设备闭环控制；

整机功率 10W，金属外壳屏蔽，稳定性强，适配真空设备长时间连续运行；

可选配 1m/3m/5m 高压输出电缆，灵活适配设备安装布局。

完整型号与输出参数

表格

型号输出电压范围输出电流

HMEC-1R100~+1kV / 0~-1kV10mA

HMEC-1.5R6.60~+1.5kV / 0~-1.5kV6.6mA

HMEC-2R50~+2kV / 0~-2kV5mA

HMEC-3R3.30~+3kV / 0~-3kV3.3mA

HMEC-5R20~+5kV / 0~-5kV2mA

HMEC-10R10~+10kV / 0~-10kV1mA

可选配件

高压输出电缆：-L (1m)、-L (3m)、-L (5m)，下单可按需选配线缆长度。

应用用途与行业

适用行业：半导体晶圆制造、显示面板、光学基板加工、真空制程设备

核心用途：配套静电吸盘（ESC），真空环境下固定硅晶圆、玻璃基板，完成镀膜、刻蚀、检测等工序；通过极性反转实现工件平稳脱片，广泛应用各类真空工艺设备集成。