日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源

日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源 日本 松定 静电吸盘专用双极性高压电源

HJC 系列 静电吸盘专用双极性高压电源

1、产品性能特点

HJC 系列为松定精密专为静电吸盘开发单输出双极性高压电源，采用放大器架构，无继电器设计，可靠性高、使用寿命长。无负载条件下极性反转时间可达 100ms，支持 DC 通断控制，断电时可反转极性，帮助晶圆、玻璃基板顺利脱离吸盘，缩短设备循环节拍。

设备为半机架式结构，节省安装空间；支持本地拨动开关、远程触点两种极性切换方式，可选内置 500kHz/13.56MHz 射频滤波器、输出保护盖、输出高压电缆等配件。

选配说明：两种射频滤波器不可同时选配，输出继电器与射频滤波器无法同时安装，也可定制单极输出机型。

2、完整型号与电气参数

表格

型号输出电压范围输出电流

HJC-1B6-1kV～+1kV6mA

HJC-1B30-1kV～+1kV30mA

HJC-2B3-2kV～+2kV3mA

HJC-2B15-2kV～+2kV15mA

HJC-3B2-3kV～+3kV2mA

HJC-3B10-3kV～+3kV10mA

HJC-4B1.5-4kV～+4kV1.5mA

HJC-4B7.5-4kV～+4kV7.5mA

HJC-5B1.2-5kV～+5kV1.2mA

HJC-5B6-5kV～+5kV6mA

输出支持双极波形、单极波形两种工作模式，满足不同静电吸盘供电需求。

3、产品用途 & 适用行业

核心用途：驱动静电吸盘，实现工件吸附、释放；可适配库仑力（Coulomb force）（Johnson-Rahbek force）两种静电吸盘。

适用行业：半导体晶圆制程、面板显示行业、光学玻璃基板加工；广泛配套刻蚀、薄膜沉积、清洗等真空设备。