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日本 IMT 半导体桌上样品研磨机

日本 IMT 半导体桌上样品研磨机IMT Rana-5 桌上样品研磨机,台式多工位自动研磨设备,支持样品与磨盘同向 / 反向旋转,保障工件平行度。压力、转速可分段程序控制,可记忆 16 组研磨配方,适配 SiC 等脆性材料试样制备,广泛用于半导体、材料实验室样品前处理,可选配 Q-Keeper 研削治具拓展加工能力。

  • 产品型号:Rana-5
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-08-11
  • 访  问  量:90
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详细介绍

日本 IMT 半导体桌上样品研磨机 日本 IMT 半导体桌上样品研磨机

1、产品型号

IMT Rana-5 桌上样品研磨机

2、产品性能

Rana-5 为单工位加载台式样品研磨设备,可同时研磨多个样品。设备支持样品支架与研磨盘独立调速、正反转切换,同向同转速运行模式下研磨,有效维持工件平行度。

搭载压力自动升降控制,研磨工序支持多阶段参数切换;内置程序存储,可保存 16 组研磨工艺配方。标配自动给水系统,采用防水触控操作面板,配备急停按钮,运行稳定。可选购 Q-Keeper 规制研削治具,用于 SiC 样品稳定研磨加工。

3、核心参数

整机本体规格

电源:单相 100V / 单相 220V

外形尺寸:W450×D640×H520mm(头部升起 610mm)

整机重量:94kg

标配自动给水功能

研磨部

研磨圆盘 Φ250mm(铝制研磨盘、磁性圆盘可选,圆盘另售)

磨盘转速:50~400rpm,支持正反转

磨盘电机:400W 减速电机

控制系统:防水触控面板,数字定时停机;支持 ABC 三段工艺设置,存储 16 组研磨条件

自带给水、排水管路

样品旋转部

支架转速:50~200rpm,正反转切换

旋转电机:120W 无刷电机

试样数量:1~6 个自由选择,Φ50mm 样品最多容纳 3 个

样品架规格:Φ25/30/40mm×6 个、Φ50mm×3 个(样品架另行采购)

单样品加压:10~50N

标配流量可调润滑器

气源要求:0.5~0.7MPa,气压超过 0.7MPa 需额外配置减压阀

选配配件

Q-Keeper 规制研削治具:最大夹持 φ30mm 样品,硬质合金环保障平面度,适配 SiC 研磨作业,搭配钨钢制动器提升耐用性。

4、产品用途

用于半导体晶圆、碳化硅 SiC、各类无机脆性材料、金相试样的研磨前处理;可完成粗研磨、精研磨工序,实现试样高精度平面研磨,保障样品平行度,适配实验室样品制备。

5、适用行业

半导体新材料行业、第三代半导体 SiC 研发实验室、材料科学研究院、金相检测实验室、光电陶瓷、硬质合金零部件研发检测机构。



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