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日本 IMT 半导体桌上型自动样品研磨机

日本 IMT 半导体桌上型自动样品研磨机IMT KIRIME 300 桌上样品研磨机,支持整体荷重、单独荷重双模式研磨,研磨盘自带冷却功能。配备伺服电机,转速、压力精准可调,可存储多组工艺配方,支持连接研磨剂自动滴加装置。适配 SiC、半导体材料试样制备,广泛用于半导体、新材料实验室样品前处理。

  • 产品型号:KIRIME 300
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-08-11
  • 访  问  量:96
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详细介绍

日本 IMT 半导体桌上型自动样品研磨机 日本 IMT 半导体桌上型自动样品研磨机

1. 产品型号

IMT KIRIME 300 桌上样品研磨机

2. 产品性能

本机搭载双伺服驱动系统,一台设备实现整体加压、单独加压两种研磨模式,可灵活切换工艺。设备搭载可移动悬臂操作面板,触摸屏搭配实体按键与 JOG 旋钮,操作便捷;内置多组工艺配方存储,支持多段工艺自动切换。研磨盘具备水冷降温功能,可外接研磨剂自动滴加装置,实现研磨工序自动化。加压区间、转速独立可调,压力与转速控制精度高,保障样品加工平面度。可选配 Q-Keeper 研削治具,适配 SiC 等硬质样品稳定研磨。

3. 核心参数表

表格

项目规格参数

研磨模式整体荷重研磨 / 单独荷重研磨

回转转速研磨盘:50~500rpm;夹具:50~200rpm,支持正反转

加压力全体荷重:50~300N;单个荷重:10~50N

样品装载整体负载:泪滴孔 ×6 个、长方形孔 ×3 个;单独负载:Φ25/30/40mm×6 个、Φ50mm×3 个

驱动电机头部 200W 伺服电机,底座 750W 伺服电机

冷却系统研磨盘水冷,冷却水自动启停

气源要求0.5~0.7MPa

电源规格三相 200-220V

外形尺寸W520×D755×H600mm

设备重量90kg

配方存储金型荷重配方 16 组、单独荷重配方 16 组、自动切换配方 16 组

4. 产品用途

用于半导体晶片、SiC 材料、陶瓷、金属试样的平面研磨、抛光前样品制备;可完成金相试样、硬质材料试样精密研磨。搭配 Q-Keeper 研削治具,可稳定夹持样品,保障高平面度加工,支持 SiC 研磨纸湿法研磨作业。

5. 使用行业

三代半导体、碳化硅 SiC 研发、功率半导体、新材料实验室、高校材料学院、第三方检测机构、光电材料、陶瓷精密加工、金相分析实验室。

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