日本 ACTIVE 6 英寸晶圆旋转涂覆机

日本 ACTIVE 6 英寸晶圆旋转涂覆机 日本 ACTIVE 6 英寸晶圆旋转涂覆机

1、产品性能

ACT‑300AⅡ‑HS 是台式高精度高速旋涂机，伺服电机驱动，负载转速精度 ±2rpm 以内，转速 12000rpm，2.5 秒内可升至转速，转速可平滑调节。

设备内置 10 步骤、100 模式程序存储，可保存多套旋涂工艺配方。整机 SUS304 不锈钢材质，可选特氟龙涂层，耐化学溶剂腐蚀。

具备多重安全联锁：安全盖磁力传感器联锁、基板真空吸附压力联锁，开盖自动停机；安全盖带滴液滑盖，旋转状态下可滴加药液。真空负压‑70~‑80kPa 牢牢吸附基板，保障高速旋转时基板稳定。

2、型号说明

型号：ACT‑300AⅡ‑HS

ACT：ACTIVE 旋涂机系列代号

300：杯体内径 Φ300mm

AⅡ：第二代台式主机

HS：High‑Speed 高速版本， 12000rpm，适配 Φ150mm（6 英寸）基板。

3、核心参数表

表格

项目规格参数

兼容基板尺寸Φ5~Φ150mm（ 6 英寸）

杯体内径Φ300mm

外形尺寸W400×D570×H410mm

电源单相 100V‑10A，伺服电机 400W，50/60Hz

转速 / 精度0‑12000rpm，负载下 ±2rpm 以内

升速时间12000rpm/2.5 秒以内

基板吸附压力-70~‑80kPa，真空泵排气量 12L/min 以上

程序能力10 步骤，100 模式，程序存储标配

显示液晶显示屏，显示配方号、转速、时间、吸附压力

控制方式单片机数字键盘输入设置

主机外壳SUS304，可选特氟龙涂层

杯体材质SUS304 电解抛光，可选特氟龙涂层

安全盖透明 PVC，带滑盖滴液孔

整机重量约 35kg

4、可选配件

1. 样品台夹具：POM、PCTFE、PTFE、PEEK、铝材质，可按基板定制；

2. 干式隔膜真空泵 12S；

3. 安全盖电磁锁；

4. 杯体 / 内杯特氟龙涂层；

5. 中心对准夹具；

6. 多种滴注单元：注射器加压、加压罐、微量注射器、电动移液滴加模块；

7. 外部设备通信接口（按需定制）。

5、用途 & 适用行业

利用高速旋转产生离心力，将涂覆液在基板表面均匀摊开，形成均匀薄膜。

适用行业：半导体、太阳能电池、光学镜片、液晶显示、纳米材料、生物技术、医疗材料，用于薄膜涂层实验研发、小批量试样生产。

6、使用说明

1. 接通 100V 电源，连接真空泵，确认真空管路连接完好；

2. 放置基板，开启真空吸附，确认负压达到‑70~‑80kPa，基板被牢牢吸住；

3. 通过数字键盘调用或者编辑旋涂程序，设置每段步骤转速、时间；

4. 关闭安全盖，设备确认吸附与盖体联锁到位后，启动旋涂程序；

5. 可通过安全盖上滑盖滴入涂覆药液，设备按程序完成各段旋转工艺；

6. 程序结束，设备停止旋转，解除真空，取出样品；

7. 杯体及时清理溶剂残留，腐蚀性药液建议选配特氟龙涂层腔体。