
PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类





日本 TYSEI 大成 氟树脂液体脱气模块组件TYSEI 大成 TY‑55 系列脱气模块,接触液全部采用 PFA 氟树脂材质,耐各类酸碱、有机溶剂腐蚀。分为普通型与低压损型多个型号,适配不同流量工况,脱气效率高。多用于半导体、FPD 平板显示、理化分析领域,完成清洗液、蚀刻液、药液真空脱气,接头拆装便捷,运行稳定可靠。
产品型号:TY-55100
厂商性质:经销商
更新时间:2026-09-11
访 问 量:14
立即咨询
联系电话:13823182047
日本 TYSEI 大成 氟树脂液体脱气模块组件 日本 TYSEI 大成 氟树脂液体脱气模块组件
本系列脱气模块采用 PFA 氟树脂作为接触液全部部件,耐强酸碱、有机溶剂腐蚀,适配腐蚀性药液处理。依靠真空渗透实现液体脱气,分为通常类型、低压损两大系列;耐压 0.3MPa,使用温度 50℃,接头采用 FAINALLOCK 1/4" 通液端口,真空端为 Φ6 快速接头,拆装方便,脱气率可达 80%,低压损型号适合小流量工况。
表格
| 类型 | 产品型号 | 流量范围 (ml/min) | 膜内容积 (ml) | 外形尺寸 mm | 耐压 MPa | 温度℃ | 脱气率 80% 流量 | 接触液材质 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 低压损 | TY‑55010 | ≤20 | 16 | Φ120×120 | 0.3 | 50 | 10ml/min | PFA |
| 通常类型 | TY‑55025 | ≤50 | 40 | Φ120×120 | 0.3 | 50 | 25ml/min | PFA |
| 通常类型 | TY‑55080 | ≤150 | 110 | Φ120×160 | 0.3 | 50 | 80ml/min | PFA |
| 低压损 | TY‑55100 | ≤250 | 150 | Φ120×160 | 0.3 | 50 | 100ml/min | PFA |
| 通常类型 | TY‑55250 | ≤500 | 300 | Φ120×240 | 0.3 | 50 | 200ml/min | PFA |
备注:流量为选型参考,根据液体种类与脱气目标,可适度超出参考流量;外形尺寸不含接头凸起部分。
TY‑55010:低压损类型,小流量,适合≤20ml/min 工况
TY‑55025:常规小型,流量≤50ml/min
TY‑55080:中型常规款,流量≤150ml/min
TY‑55100:低压损中大型,流量≤250ml/min
TY‑55250:大流量常规款,流量≤500ml/min
1. 半导体制造:清洗液、蚀刻药液脱气处理2.FPD 平板显示行业:各类制程药液脱气3. 理化分析实验室:溶剂、酸碱溶液脱除溶解气体4. 化工行业:光刻胶剥离液、涂层药液脱气,消除气泡对工艺干扰。
1、安装:通液端口连接液体管路,真空端口外接真空发生装置,接头锁紧到位,防止漏液漏气。2、工况控制:工作压力不超过 0.3MPa,介质温度控制≤50℃。3、选型按实际液体流量选择对应型号,脱气效率受真空度、液体温度影响。4、禁止用于会侵蚀 PFA 材质的特殊介质;停机后排空内部残留液体,避免介质滞留损伤膜组件。5、膜组件为消耗件,出现性能衰减时及时更换。