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高亮度卤素灯半导体晶圆光源YAMADA/日本YP-150I$n$n这是一种光源装置，通过使用用于检查 Si 晶圆和玻璃表面上的划痕的照明光源提供 400,000Lux（30Φ）或更高的照明，可以观察到细微的划痕。