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Adwill-Global全自动多功能晶圆贴合研磨机

Adwill-Global全自动多功能晶圆贴合研磨机 RAD-2510F/12Sa

适用于超薄晶圆
本多功能晶圆贴合机采用单机系统,适用于超薄晶圆制造。背面研磨工艺完成后,晶圆的紫外线照射、校准、贴合到切割环、研磨用表面保护胶带撕膜均可以由1台设备完成。

  • 产品型号:RAD-2510F/12Sa
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-27
  • 访  问  量:373
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详细介绍

Adwill-Global全自动多功能晶圆贴合研磨机 RAD-2510F/12Sa 特点介绍


适用于超薄晶圆

本多功能晶圆贴合机采用单机系统,适用于超薄晶圆制造。背面研磨工艺完成后,晶圆的紫外线照射、

校准、贴合到切割环、研磨用表面保护胶带撕膜均可以由1台设备完成。

实现最少的晶圆传输次数

晶圆单体的传输次数,单机系统可减少至4次,与晶圆背面研磨机联机生产时可减少至2次。因此,可以在最大限度上控制对晶圆的损伤。

高产能

通过优化各传输组件实现高产能。

※与以往机型相比,约增加60%(以300mm原始晶圆运行时的对比值。实际产能因粘贴、剥离条件而异)

占地面积小

设备尺寸为2,165mm(W)×3,090mm(D)×1,800mm(H)(突起物及三色警示灯除外),实现了非常紧凑的设备设计。

※与以往机型相比,设备尺寸约缩小30%


Adwill-Global全自动多功能晶圆贴合研磨机 RAD-2510F/12Sa 规格参数


适用于切割胶带的联机预切割(选配)

使用非预切割胶带时,可以另行安装可以避免损伤晶圆环的、在设备内部切割胶带的联机预切割机构。

剥离胶带贴合方式可兼用热封胶带、粘着胶带

根据所使用的研磨用表面保护胶带的物性等条件,研磨用表面保护胶带剥离机构也可以兼用热封胶带方式、粘着胶带方式(选配)。


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