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Adwill-Global紫外线研磨用表面保护胶带 E系列 特点介绍
紫外线硬化型研磨用表面保护胶带 Adwill E系列可在背面研磨时为晶圆正面提供可靠保护,防止研磨水或残渣侵入污染晶圆正面。
胶带通过紫外线照射后,粘着力会大幅度弱化,方便从晶圆上剥离, 因此不会给晶圆造成压力,同时适用于大尺寸、薄型晶圆的加工。
Adwill-Global紫外线研磨用表面保护胶带 E系列 规格参数
1.设备的高可靠性
晶圆表面的污染极小,因此背面研磨后无需进行晶圆清洗。
2.高洁净度等级
粘着加工环境达到100级(以美国联邦标准209b为基准)。
适用于带锡球晶圆 和 薄型晶圆的胶带产品
1.控制背面研磨后晶圆的翘曲、适用于锡球晶圆
通过在胶带中增加应力缓冲性能,防止因胶带贴合时产生的残余应力所导致的背面研磨后晶圆翘曲。此外,利用锡球晶圆研磨时, 通过即使驱散产生的应力,以防止晶圆破损和晶圆研磨纹的产生,同时提高晶圆研磨厚度的均一性。
2.提高晶圆厚度的精度(T.T.V.*)
提高研磨后晶圆厚度的均一性胶带具有良好的厚度均一性,可以保持背面研磨后的晶圆厚度精度。*T.T.V.=全局厚度公差
紫外线硬化型研磨用表面保护胶带 Adwill E系列可在背面研磨时为晶圆正面提供可靠保护,防止研磨水或残渣侵入污染晶圆正面。
胶带通过紫外线照射后,粘着力会大幅度弱化,方便从晶圆上剥离, 因此不会给晶圆造成压力,同时适用于大尺寸、薄型晶圆的加工。