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日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列降低成本 用臭氧水替代现有化学溶液改善工艺性能半导体晶片清洗去除颗粒、金属、有机物质等杂质提高太阳能电池板的发电效率良好的纹理形成、杂质去除等。 减少环境影响（环保）通过减少化学品排放实现排放
产品型号：MTK-HC系列厂商性质：经销商更新时间：2024-10-12访 问 量：227
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日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 特点介绍
降低成本 用臭氧水替代现有化学溶液
改善工艺性能
半导体晶片清洗去除颗粒、金属、有机物质等杂质
提高太阳能电池板的发电效率良好的纹理形成、杂质去除等。
减少环境影响（环保）
通过减少化学品排放实现排放
通过使原料气体（氧气、空气）流入双石英玻璃管之间的间隙中产生的无数微细放电（无声放电），在原料气体中产生臭氧。
所有与气体接触的部件均由石英制成，因此不存在金属污染。
高浓度臭氧
臭氧水中半导体、液晶、太阳能电池等金属杂质清洁规范
臭氧浓度迅速上升，约1分钟内达到最高臭氧浓度。
小型装置宽600mm×深600mm×高1300mm（25ppm、5L/min规格）
与其他公司相比便宜
日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 规格参数
・液晶（有机物除去用）
・半导体
（金属、粒子、有机物除去用）
・太阳能电池
（有机物、粒子除去用）
・MEMS部件、传感器等
（有机物、粒子、有机物除去用）金属）・洁净规格（不含金属）
・涵盖高浓度、高流量
・浓度稳定性
・性价比
半导体（清洗）
FPD、LCD（清洗）
MEMS、传感器（清洁）
硬盘（清洁）
太阳能电池（清洁）
医疗（洗手、纯净水管道清洗）
食品（洗手、杀菌、除臭）
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