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产品分类
日本 HORIBA 多气体多量程数字流量控制器HORIBA SEC-Z500X 是经典量产型数字质量流量控制器，支持现场在线切换工艺气体与满量程，无需拆机拆装；搭载可变 PID 控制系统，全量程 ±1.0% 设定点高精度，任意设定点响应≤1s；压电阀全金属结构，适配半导体、光伏、实验室研发等多领域，大幅减少备件种类，降低使用成本。
2026-07-16
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65
日本 HORIBA 半导体宽范围压力流量控制器HORIBA D700WR 属于 CRITERION 平台宽范围压敏型 MFC，搭载全新节流组件，实现0.1~100% FS 超宽流量区间精密控制；配备高可靠 CIP 压力传感器与耐腐 PFA 喷嘴，上升响应≤500ms，内置状态监测功能，单台设备可兼顾高低流量工艺，精简气路配置，适配半导体刻蚀、沉积多工况研发与量产产线。
2026-07-16
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53
日本 HORIBA 半导体微流量压力流量控制器HORIBA D700uF 属于 CRITERION 平台微流量压强不敏感 MFC，专为≤5SCCM 微量工艺开发，可控至 0.025SCCM；采用专用低流量基准与内部流量计量技术，上升响应≤100ms；标配 PFA 喷嘴、内置状态监控，适配高深宽比刻蚀、ALD 等需要微量气体精准配比的优良半导体工艺。
2026-07-16
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62
日本 HORIBA 半导体高性能压力流量控制器HORIBA D700T（D717T）属于 CRITERION 平台高性能压力非敏感 MFC，采用双阀控制算法，全量程≤100ms 响应；具备进出口压力不敏感特性，内置高级故障诊断；重复性可达 0.15% S.P，工作温度拓宽至 15~60℃，面向严苛优良半导体刻蚀、薄膜沉积制程。
2026-07-16
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日本 HORIBA 半导体数字液体质量流量控制器HORIBA LF-F/LV-F 系列采用创新珀尔帖元件冷却测量原理，区别于传统热交换方案，规避低沸点药液汽化沸腾干扰；支持微升至超低量程精准管控，适配低沸点、高粘度化学液体，LV-F 内置压电阀构成闭环流量控制，整机超洁净构造，广泛用于半导体湿法、光伏药液输送制程。
2026-07-15
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87
日本aichitokei实验室油类微小流量传感器 微小流量传感器，采用椭圆齿轮式设计，适用于油类（如重油、轻油、煤油等）的测量，并且能够精确测量微小流量
2025-11-05
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275
日本aichitokei药液专用小型电磁流量传感器 采用电磁感应原理，流量测量部分无活动部件，减少了因异物导致的故障风险，提高了耐用性。 脉动测量：能够测量脉动流，适用于隔膜式电磁计量泵的流量测量。 药液兼容性：适用于次氯酸钠、*等药液的测量，适用于水处理厂和配水池中的混凝剂和消毒剂注入监测。
2025-11-05
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232
日本TLV多功能流量计算器流体应用高精度 TLV/日本 EC351 可用于流体应用的多功能流量计算器 可处理压力、温度或密度传感器及容积式流量 计的输出信号、结构紧凑的流量计算装置。运用流 量近似方程、计算并显示重要变量的可变量程。
2025-05-06
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