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日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用

日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150

产品采用AC伺服电机且无刷,因此在防止洁净室污染方面具有出色的性能,并且减少电机的发热以防止连续使用时的温度升高。膜厚再现性也较低。

  • 产品型号:MS-B100 / MS-B150
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-12
  • 访  问  量:214
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日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150 特点介绍


产品采用AC伺服电机且无刷,因此在防止洁净室污染方面具有出色的性能,并且减少电机的发热以防止连续使用时的温度升高。膜厚再现性也较低。


日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150规格参数


MS-B100

最大板尺寸 φ4英寸晶圆或75×75mm基板 

转速(转/分) 20~8,000 

旋转精度 ±1rpm(负载时) 

发动机 交流伺服电机 

盖 丙烯酸纤维 

纺丝室直径 φ220mm 

步进模式数量 100 步 x 10 种模式 

时间设置 999.9秒 

安全联锁装置 真空标准设备

盖子可选 

滴水装置 无法安装 

使用真空压力 -0.08~-0.1MPa 

电源 AC100~240V 5A 

外形尺寸(毫米) 259宽×246高×330深 

重量 10公斤 

MS-B150

最大板尺寸 φ6英寸晶圆或100×100mm基板 

转速(转/分) 20~7,000 

旋转精度 ±1rpm(负载时) 

发动机 交流伺服电机 

盖 丙烯酸纤维 

纺丝室直径 φ290mm 

步进模式数量 100 步 x 10 种模式 

时间设置 999.9秒 

安全联锁装置 真空标准设备

盖子可选 

滴水装置 选项 

使用真空压力 -0.08~-0.1MPa 

电源 AC100~240V 5A 

外形尺寸(毫米) 352宽×303高×432深 

重量 16公斤 


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