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Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器即使负载阻抗不断变化,也能自动完成匹配实时监测负载反射功率的 DC 检波电压,并以其最小化为目标进行自动控制
产品型号:ADS-24501000-01
厂商性质:经销商
更新时间:2025-12-22
访 问 量:15
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Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器
Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器
インピーダンスの変化する負荷に対しても整合をとることができます。
負荷からの反射電力DC検波電圧をモニターして、これを最小にするように自動制御します。
オートモードとマニュアルモードの選択が可能です。
80L/min.の空気流による空冷が必要です。エアポンプシステムをオプションにてご用意できます。
シーケンサに接続して自動制御することができます。

| ADS-24501000-01 | |
|---|---|
| 最大RF電力 | 1,000 W |
| チューニング可能なRF周波数 | 2,450 MHz ± 50 MHz |
| 最大定在波比 | 15 |
| 最大挿入損失 | 0.3 dB Max |
| 入出力電力コネクタ | 7/16 Jack |
| 反射電力モニターコネクタ | BNC Jack |