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Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器

Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器
即使负载阻抗不断变化,也能自动完成匹配
实时监测负载反射功率的 DC 检波电压,并以其最小化为目标进行自动控制

  • 产品型号:ADS-24501000-01
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-12-22
  • 访  问  量:15
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详细介绍

Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器
Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器

高功率自动调谐器(High Power Auto-tuner)
高功率自动阻抗匹配器
特点
  • 即使负载阻抗不断变化,也能自动完成匹配
  • 实时监测负载反射功率的 DC 检波电压,并以其最小化为目标进行自动控制
  • 提供自动模式与手动模式两种操作方式
  • 需 80 L/min 的空气冷却;可选购气泵系统
  • 可与上位序列器连接,实现全自动控制
型号:ADS-24501000-01
  • RF 功率:1 000 W
  • 可调频率范围:2 450 MHz ± 50 MHz
  • 驻波比(VSWR):15
  • 插入损耗:≤ 0.3 dB
  • RF 输入/输出连接器:7/16-Jack
  • 反射功率监测连接器:BNC-Jack

特徴

  • インピーダンスの変化する負荷に対しても整合をとることができます。

  • 負荷からの反射電力DC検波電圧をモニターして、これを最小にするように自動制御します。

  • オートモードとマニュアルモードの選択が可能です。

  • 80L/min.の空気流による空冷が必要です。エアポンプシステムをオプションにてご用意できます。

  • シーケンサに接続して自動制御することができます。

Plasma-appl高功率自动调谐器阻抗匹配器

ADS-24501000-01
最大RF電力1,000 W
チューニング可能なRF周波数2,450 MHz ± 50 MHz
最大定在波比15
最大挿入損失0.3 dB Max
入出力電力コネクタ7/16 Jack
反射電力モニターコネクタBNC Jack


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