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您的位置：首页  /  产品展示  /  实验设备  /  脱气机  /  PF-03F/PF-06F半导体LCD制造药液高效脱泡PTFE脱气膜装置

半导体LCD制造药液高效脱泡PTFE脱气膜装置

半导体LCD制造药液高效脱泡PTFE脱气膜装置
主要用于半导体和液晶制造行业中的药液脱气处理
采用四氟乙烯树脂（PTFE）制成的非多孔中空纤维膜
具有优异的耐药性、耐溶剂性和耐热性
非多孔结构确保药液不会泄漏到真空侧

  • 产品型号：PF-03F/PF-06F
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2026-01-05
  • 访  问  量：23
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详细介绍

半导体LCD制造药液高效脱泡PTFE脱气膜装置

半导体LCD制造药液高效脱泡PTFE脱气膜装置

Teflon脱气膜（テフロン脱気膜）应用领域：主要用于半导体和液晶制造行业中的药液脱气处理

产品特点

  1. 材料优势：
    • 采用四氟乙烯树脂（PTFE）制成的非多孔中空纤维膜
    • 具有优异的耐药性、耐溶剂性和耐热性
    • 非多孔结构确保药液不会泄漏到真空侧
  2. 设计优势：
    • 通过增加非多孔中空纤维膜的数量来增大膜面积，实现紧凑设计
    • 采用不易折断的非多孔中空纤维膜，耐久性优异

主要用途

  • 半导体制造：显影液、光刻胶、冲洗液、蚀刻液、电镀液、超纯水等的脱气
  • 液晶制造：各种工艺药液的脱气处理
  • 精密涂布：精密涂布液、打印机用墨水等的脱气
  • 测量设备：去除液中粒子计数器试料液的脱气

技术背景

随着半导体器件的微细化和LCD基板的大型化，对药液中微气泡去除的需求日益增长。该产品能够：
  • 去除导致器件缺陷的微气泡
  • 提高处理能力，支持300mm晶圆
  • 实现设备的小型化和配管简化

脱气原理

通过PTFE管状气体透过膜，利用管内外气体分压差，将药液中溶解的气体去除。具体过程是将管外抽真空，产生分压差，从而去除管内药液中的溶解气体。
这是一款专为高精度电子制造工艺设计的专业脱气设备，在半导体制程中起着关键作用。


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