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日本mikasa洁净室用伺服型台式旋转涂布机

日本mikasa洁净室用伺服型台式旋转涂布机
日本 Mikasa MS-B150 是一款面向实验室与半导体制程开发的高性能台式旋转涂布机（Spin Coater）

  • 产品型号：MS-B150/MS-B200
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2026-01-05
  • 访  问  量：23
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详细介绍

日本mikasa洁净室用伺服型台式旋转涂布机

日本mikasa洁净室用伺服型台式旋转涂布机

日本 Mikasa MS-B150 是一款面向实验室与半导体制程开发的高性能台式旋转涂布机（Spin Coater），核心规格与特点如下：
  1. 基板能力
    • 支持 φ6 英寸晶圆或 100 mm × 100 mm 方片
    • 旋转腔体内径 φ290 mm，适合高校/研究所常规样品
  2. 转速与精度
    • 20–7 000 rpm 无级设定，显示/控制精度 ±1 rpm（带载仍保持）
    • 可独立设定“加速时间"与“匀速保持时间"，用于精确控制膜厚
  3. 电机与控制
    • 无刷 AC 伺服电机——低发热、无粉尘，可连续运行而不影响洁净室环境
    • 100 段 × 10 组程序，每段时间最长 999.9 s，可编多步曲线并实现自动重复实验
  4. 真空吸附
    • 数字式真空计标准配置，吸附压力 -0.08 ~ -0.1 MPa
    • 带真空联锁：真空不足或盖子未闭合时禁止旋转，防止飞片
  5. 滴胶扩展
    • 可选 1 臂或 2 臂气动滴胶装置（MS-A150 系列），实现光刻胶自动定量滴涂
  6. 成膜性能
    • 6 英寸硅片 + 光刻胶 OFPR-800LB，目标膜厚 1 µm 时，面内厚度分布 ≤ ±0.6 %
  7. 机身规格
    • 台式 352 mm × 303 mm × 432 mm，重 16 kg
    • 电源 AC 100–240 V，50/60 Hz，5 A，单相即插即用


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