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日本f-ohtsuka大塚ESC静电卡盘精密清洗机该系统是对应粒子去除、离子去除等超精密清洗需求的工业清洗装置。
产品型号：厂商性质：经销商更新时间：2026-01-30访 问 量：13
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日本f-ohtsuka大塚ESC静电卡盘精密清洗机
日本f-ohtsuka大塚ESC静电卡盘精密清洗机
| 步骤 | 工位名称 | 说明 |
|---|---|---|
| ① | 清洗剂浸渍清洗 | 化学浸泡清洗槽（泵P+过滤器B循环） |
| ② | 清洗剂浸渍清洗 | 二次清洗剂浸泡（内置加热器） |
| ③ | 一次漂洗 | 一次纯水漂洗 |
| ④ | 一次漂洗 | 第二次纯水漂洗（配活性炭AC+预过滤器PF+离子交换树脂VC） |
| ⑤ | 精漂洗 | 最终纯水漂洗（高洁净度） |
| ⑥ | 吸收干燥 | 吸收式干燥处理（配空气刀+油雾分离器+加热器） |
| ⑦ | 温纯水提升 | 使用温纯水进行提拉脱水（配真空泵VP） |
| ⑧ | HFC干燥 | 氢氟碳化合物干燥（配冷却器+鼓风机） |
| ⑨ | HFE干燥 | 氢氟醚干燥（配换热器） |
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