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日本techvision低热损伤UV LED照射固化装置

日本techvision低热损伤UV LED照射固化装置
主要用于半导体制造中的UV胶带固化工艺,适用于晶圆切割、研磨等工序前的胶带固定和固化。

  • 产品型号:UVC-200A/300A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-02-06
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详细介绍

日本techvision低热损伤UV LED照射固化装置

日本techvision低热损伤UV LED照射固化装置

这是一款采用LED(发光二极管)作为UV照射光源的LED UV胶带固化装置。与传统设备(高压汞灯或金属卤化物光源)相比,也能发挥出充分的固化性能(固化状态、固化速度)。
采用Tech Vision自主研发的高输出LED驱动器,实现了250mW/cm²(工作距离10mm)的照射输出功率。光源部分通过往复扫描方式均匀照射工件。

LED技术的核心优势主要用于半导体制造中的UV胶带固化工艺,适用于晶圆切割、研磨等工序前的胶带固定和固化。

优势说明
常温照射减少LED的常温照射对工件的热损伤
低功耗比传统光源更节能
长寿命LED光源寿命长,降低维护成本
安全性更换光源时更安全(无汞等有害物质)

设备规格

项目详情
自动化程度Cassette to Cassette(CtoC)全自动装置
晶圆尺寸8英寸(UVC-200A)/ 12英寸(UVC-300A)
照射输出250mW/cm² @ 10mm工作距离
扫描方式光源往复扫描,确保均匀照射


主要用于半导体制造中的UV胶带固化工艺,适用于晶圆切割、研磨等工序前的胶带固定和固化。

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