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日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置UV-312 是一款紫外线臭氧清洗装置,通过照射特定波长的紫外线产生臭氧(O₃),利用生成的臭氧氧化分解有机化合物,从而去除工件表面的有机物污染并进行表面改性。
产品型号:UV-312
厂商性质:经销商
更新时间:2026-02-07
访 问 量:10
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日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置
日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 照射区域 | 308mm × 308mm |
| 电源 | AC 100V 10A 50/60Hz(可定制其他电压) |
| 装置尺寸 | 505mm(宽)× 616mm(深)× 320mm(高) |
| 重量 | 41kg |
| 序号 | 特点 |
|---|---|
| 1 | 采用高密度UV网格灯 |
| 2 | 照射均匀,覆盖整个工件表面 |
| 3 | 省空间,紧凑型设计 |
| 4 | 公用工程简单(水电气需求少) |
| 5 | 支持双面清洗和单面清洗 |
| 6 | 操作简便,内置安全功能 |
| 序号 | 用途 |
|---|---|
| 1 | 半导体晶圆、光掩膜、玻璃基板、光学元件的清洗 |
| 2 | 树脂部件的表面改性 |
| 3 | 提升粘接、涂装、印刷、蒸镀、焊接等工艺的密着性 |
| 4 | 改善工件表面的润湿性 |
| 过程 | 原理说明 |
|---|---|
| 臭氧生成 | 大气中的氧气(O₂)吸收波长184.9nm的紫外线,生成臭氧(O₃) |
| 臭氧分解 | 生成的臭氧(O₃)进一步吸收波长253.7nm的紫外线,产生O₂和活性氧(O*) |
| 有机物分解(清洗、表面改性) | 极不稳定的活性氧(O*)与有机化合物结合,将其氧化分解为H₂O、CO₂、NOₓ等气体(通过与有机化合物结合,实现清洗和表面改性) |