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日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置

日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置
UV-312 是一款紫外线臭氧清洗装置,通过照射特定波长的紫外线产生臭氧(O₃),利用生成的臭氧氧化分解有机化合物,从而去除工件表面的有机物污染并进行表面改性。

  • 产品型号:UV-312
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-02-07
  • 访  问  量:10
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详细介绍

日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置

日本techvision低压汞灯紫外线臭氧清洗装置

UV-312 是一款紫外线臭氧清洗装置,通过照射特定波长的紫外线产生臭氧(O₃),利用生成的臭氧氧化分解有机化合物,从而去除工件表面的有机物污染并进行表面改性。

技术原理

核心光源技术

  • 采用高密度网格形状低压汞灯作为UV光源
  • 与UV-208共享相同的光源技术平台
  • 网格状设计确保工件全区域均匀照射

清洗效果

  • 表面去污:去除疏水性污染物
  • 表面改性:将表面从疏水性转变为亲水性(水滴扩散展开)
  • 附着力提升:润湿性改善可提高后续工艺的密着性
效果验证(通过接触角θ变化确认):
  • 照射前:水滴直径3mm,接触角大(疏水状态)
  • 照射后:水滴直径9mm(扩大3倍),接触角显著减小(亲水状态)

产品规格


项目参数
照射区域308mm × 308mm
电源AC 100V 10A 50/60Hz(可定制其他电压)
装置尺寸505mm(宽)× 616mm(深)× 320mm(高)
重量41kg

主要特点


序号特点
1采用高密度UV网格灯
2照射均匀,覆盖整个工件表面
3省空间,紧凑型设计
4公用工程简单(水电气需求少)
5支持双面清洗单面清洗
6操作简便,内置安全功能

用途

UV(紫外线)臭氧清洗装置可轻松应用于以下各种用途:
序号用途
1半导体晶圆、光掩膜、玻璃基板、光学元件的清洗
2树脂部件的表面改性
3提升粘接、涂装、印刷、蒸镀、焊接等工艺的密着性
4改善工件表面的润湿性

UV臭氧清洗原理


过程原理说明
臭氧生成大气中的氧气(O₂)吸收波长184.9nm的紫外线,生成臭氧(O₃)
臭氧分解生成的臭氧(O₃)进一步吸收波长253.7nm的紫外线,产生O₂和活性氧(O*)
有机物分解(清洗、表面改性)极不稳定的活性氧(O*)与有机化合物结合,将其氧化分解为H₂O、CO₂、NOₓ等气体(通过与有机化合物结合,实现清洗和表面改性)



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