日本 松定 静电吸盘专用双通道高压电源

日本 松定 静电吸盘专用双通道高压电源 日本 松定 静电吸盘专用双通道高压电源

产品概述

日本松定 HEC 系列是专为静电吸盘（ESC）开发的反向型双通道机架高压电源，内置双通道输出，单机即可满足双极式静电吸盘使用需求。除常规高低压通断控制外，断电时支持极性反转，实现晶圆、玻璃基板平滑剥离，保障吸附稳定，缩短生产节拍，适配库仑力力两种静电吸盘。

核心性能特点

双通道独立输出，支持单极式、双极式两种工作模式；

极性反转剥离技术，无负载反转时间 600ms，防止基板吸附残留；

紧凑型机架结构，大功率输出，面板双通道数值显示，便于状态监控；

可选配件：输出继电器、RF 射频滤波器、加长高压电缆、200V 交流输入规格；

配备强制接地回路，支持外部信号切断负载，提升设备安全性能。

型号与输出参数

HEC-1R200×2：0~+1kV/0~-1kV，单通道 200mA

HEC-3R67×2：0~+3kV/0~-3kV，单通道 67mA

HEC-5R40×2：0~+5kV/0~-5kV，单通道 40mA

HEC-6R33×2：0~+6kV/0~-6kV，单通道 33mA

HEC-10R20×2：0~+10kV/0~-10kV，单通道 20mA

整机功率 200W，电压覆盖 ±1kV~±10kV 全区间。

可选配置

✅ -LRy 输出继电器：外部信号实现电源与负载电气断开

✅ -LRf (500k)/-LRf (13.56M) 射频滤波器（二选一）

✅ -L (200V) 200~240V 单相交流输入

✅ -L (7m) 7 米高压输出电缆 2 根

应用行业 & 用途

适用行业：半导体晶圆制程、LCD/OLED 显示面板、光学基板加工

典型用途：半导体刻蚀、薄膜沉积设备静电卡盘供电；玻璃基板、晶圆真空吸附与平稳剥离工艺，适配各类半导体工艺设备静电吸盘系统。