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日本 东京计装 TOKYO 超声波液体流量控制器东京计装 CLFC300 一体化超声波液体流量控制器，集成超声波流量检测、控制阀与控制电路。精度 ±0.2% FS，支持针阀 / 夹管阀两种阀型，接液采用 PFA、PTFE 耐腐蚀材质。响应速度快，抗气泡性能优异，适用于半导体 DIW、药液、CMP 浆料的高精度定量供给与浓度管控。
产品型号：CLFC300-T11-201-D1-NHO厂商性质：经销商更新时间：2026-09-11访 问 量：13
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日本 东京计装 TOKYO 超声波液体流量控制器 日本 东京计装 TOKYO 超声波液体流量控制器
CLFC300 是一体化超声波液体流量控制器，将超声波流量检测器、控制阀、流量运算与阀门驱动电路集成在小型外壳，体积相比旧款缩小 20%，重量减轻 35%，功耗降低 35%。优化运算算法，抗气泡能力大幅提升，流量测量稳定；阶跃响应控制速度≤1.5 秒；提供针阀、夹管阀两种阀类型可选；接液材质 PFA/PTFE，高耐化学腐蚀；外壳 PVDF；满足 RoHS 与 EMC EN 61326-1:2006 标准；支持 0-10V、4-20mA 模拟信号输入输出，带流量异常接点报警输出。
CLFC300-T12-501-D2-NH0
CLFC300：系列型号
T12：安装 / 接口规格
501：流量量程
D2：信号规格
NH0：阀门类型与配件
针阀款用于纯水 / 药液；夹管阀用于 CMP 浆料等易沉积流体。
半导体 DIW 去离子水、工艺药液定量供给，管路流量稳定控制；
药液稀释配比，高精度浓度管理；
CMP 工艺浆料流体稳定定量输送，减少浆料浪费；
精细化工、制药高纯液体连续流量闭环控制。
选型确认：纯水药液选针阀；浆料、易沉淀流体选用夹管阀；确认流量范围、介质压力温度。
管路安装：采用 Φ1/4 Pillar S300 或 Flare 接头，管路无泄漏，尽量减少液体气泡。
电气接线：连接多芯电缆，接入模拟量信号（4-20mA 或 0-10V），设置流量设定值。
上电调试：执行零点校准，设定目标流量，设备自动闭环调节阀门，稳定维持流量。
监控：流量异常时设备接点输出报警；定期检查管路气泡、接头腐蚀情况。
注意：液体含大量气泡会影响测量精度；流体参数需在 10~50℃、0.4MPa 以内使用。
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