热门搜索：日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机
深圳秋山工业设备有限公司 全国咨询热线：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
Malema 半导体液体系统超声波流量控制器Malema LFC-7000 超声波液体流量控制器，全 PFA/PTFE 过流部件，无运动部件。测量精度 ±1%，流量范围 5~12000mL/min，响应速度＜3 秒。自带集成显示屏，具备数字信号处理，可耐受流体气泡，适配半导体湿法清洗、CMP 后清洗，用于超高纯化学品、浆料精密流量分配。
产品型号：LFC-7000厂商性质：经销商更新时间：2026-10-10访 问 量：29
立即咨询
联系电话：13823182047
Malema 半导体液体系统超声波流量控制器 Malema 半导体液体系统超声波流量控制器
1、产品性能
LFC-7000 系列是带 PTFE/PFA 接触部件的超声波流量控制器，流量计与控制阀一体化设计，无运动部件、无密封件，减少磨损故障。采用 DSP 数字信号处理，可耐受流体中气泡，消除温度、环境变化带来的传感器漂移，测量无漂移。
内置电机驱动夹紧阀（浆料）/ 隔膜阀（化学品），响应快，超调极小；全 PTFE 阀体死体积小，保证超高纯工艺洁净度；集成显示屏，实时输出流量数据反馈；调节比 20:1，流量控制精度可达设定值 ±1%。
2、型号
LFC-7000 系列，分 2 个细分机型：
LFC-7000（带夹紧阀，浆料专用），过流件 PFA、PT 固化硅胶
LFC-7000（带隔膜阀，化学品专用），湿件为 PTFE、PFA
接口规格可选：1/4"、3/8"、1/2"，扩口 / 柱形连接可选。
3、参数表
表格
项目规格
标准满量程50/100/250/500/1000/1250/2500/4000/8000mL/min，总区间 5~12000mL/min
准确度设定值 ±1% 或 ±3mL/min（取较大者）
重复性设定值 ±1% 或 ±1mL/min（取较大者）
重复性控制设定值 ±0.5% 或 ±0.5mL/min（取较大者）
流量控制时间＜3 秒
流体温度10~60℃
工作环境0~40℃，湿度 30~80% RH，无露点
最大工作压力50psig；最大安全内压 70psig
差压范围7~30psid（随流量规格变化）
供电24Vdc ±10%，最大 0.5A
信号输入 0~10Vdc/4~20mA；输出 0~10Vdc/4~20mA
安装水平 / 垂直均可，防护等级 IP65
接触材质PFA/PTFE
4、用途
适用于半导体行业湿法清洗设备、CMP 后清洗工艺；用于超高纯化学品、去离子水、研磨浆料的精密流量分配控制。
5、使用说明
安装：支持水平、垂直安装，按接口规格接入管路，确认管路连接密封；
接线：接入 24V 直流电源，接入控制信号与流量反馈信号线；
调试：上电，在控制系统设定目标流量，设备闭环自动调节；
运行：集成屏幕实时查看流量，DSP 算法自动补偿气泡干扰；
维护：无活动部件，定期检查管路，避免固体大颗粒杂质长期堆积。
6、适用行业
半导体晶圆制造、微电子湿法工艺、精密化工高纯流体分配。
您的位置：
