Yamada山田光学洁净室晶圆检测卤素光源 高亮度卤素光源装置是洁净室内半导体晶圆表面品质管理的工具，凭借高照度照明，可识别表面小至 0.2 μm 的微小颗粒。

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日本P.R.A.半导体静电卡盘用高压ESC电源 电极附近出现反极性电荷，陶瓷表面则感应出同极性电荷。当硅片靠近时，片内诱导电荷与表面电荷相互吸引，产生吸附力。吸力大小与表面电荷量成正比，而电荷量由高压电源精确控制。

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日本Y.E.V 杀菌与树脂固化LED UVA 照射装置 采用紫外线 UVA 可完成杀菌与树脂固化；也可用于观察 UVA 引起的细胞变化（皱纹、松弛成因）。